FR-Scanner 厚度測量視頻
Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具,適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快 速和準確測量薄膜特性:厚度,折射率,均勻性,顏色等。真空吸盤可應用于任何直徑或其他形狀的樣片。
1、應用
半導體生產(chǎn)制造:(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu), poly-Si, Si, DLC, )
光伏產(chǎn)業(yè)
液晶顯示
光學薄膜
聚合物
微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)
基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
Thetametrisis膜厚儀的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。
Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 通過高速旋轉(zhuǎn)平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法,可以在很短的時間內(nèi)記錄具有高重復性的精確反射率數(shù)據(jù),這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
測量 8” 樣片 625 點數(shù)據(jù) < 60 秒
2、特征
單點分析(不需要預估值)
動態(tài)測量
包括光學參數(shù)(n和k,顏色) o 為演示保存視頻
600 多種的預存材料
離線分析
免費軟件更新
3、性能參數(shù)
樣品尺寸 | 晶圓: 2 英寸-3 英寸-4 英寸-6 英寸-8 英寸-300mm1 |
角度與線性分辨率 | 5μm/0.1o |
光斑 | 350μm |
光譜范圍 | 370-1020nm |
光譜規(guī)格 | 3648pixels/16bit |
光源MTBF | 10000h |
厚度范圍 2 | 12nm-90μm |
精度 3 | 0.02nm |
穩(wěn)定性 4 | 0.05nm |
準確度 5 | 1nm |
折射率測量蕞小厚度 6 | 100nm |
掃描速度 7 | 625meas/min |
通訊接口 | USB 2.0 / USB 3.0. |
產(chǎn)品尺寸(mm) | 485W x 457L x 500H |
電源要求 | 110V/230V, 50-60Hz, 300W |
外觀 | 防靜電噴涂鋼板和 304 不銹鋼面板 |
重量 | 40Kg |
4、測量原理
白光反射光譜(WLRS)是測量從單層薄膜或多層堆疊結(jié)構(gòu)的一個波長范圍內(nèi)光的反射量,入射光垂直于樣品表面,由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或反射基板上)的薄膜的厚度、光學常數(shù)(n和k)等。
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