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FR-Scanner:自動化高速薄膜厚度測量儀

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-06-18
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值437
產(chǎn)品標簽

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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲,半導體,光學,光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機構(gòu)的*設(shè)備分銷商。??在21世紀初期,岱美已從我們在中國香港的總部擴展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當今化的市場中,我們的客戶包括連接東南亞各國的綜合供應鏈,我們的專業(yè)人員隨時準備與他們會面。??我們的總部設(shè)在中國香港,在中國大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強大的業(yè)務。我們還在馬來西亞,新加坡,中國臺灣地區(qū),菲律賓和泰國等東南亞國 家和地區(qū)設(shè)有分支機構(gòu)。岱美擁有訓練有素的工程師,能夠為各地區(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務;為確保他們的專業(yè)知識得以更新及并適應新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項技術(shù)訓練,務求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務及技術(shù)支持。我們的分支機構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對我們與他們建立的長達數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長的需求。對于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導,以及時了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對于我們的供應商,我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復雜商業(yè)環(huán)境導航經(jīng)驗。我們將本地客戶與來自歐洲,美國,日本和韓國的*設(shè)備與技術(shù)連接起來。岱美合作客戶??岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應力檢測儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標。注:在大陸地區(qū)注冊的公司名稱為:岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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FR-Scanner厚度測量視頻Thetametrisis膜厚儀FR-Scanner是一種緊湊的臺式工具,適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度
FR-Scanner:自動化高速薄膜厚度測量儀 產(chǎn)品詳情

FR-Scanner 厚度測量視頻


Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具,適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快 速和準確測量薄膜特性:厚度,折射率,均勻性,顏色等。真空吸盤可應用于任何直徑或其他形狀的樣片。

1、應用


  • 半導體生產(chǎn)制造:(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu), poly-Si, Si, DLC, )


  • 光伏產(chǎn)業(yè)


  • 液晶顯示


  • 光學薄膜


  • 聚合物


  • 微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)


  • 基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明


Thetametrisis膜厚儀的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

Thetametrisis膜厚儀 FR-Scanner 通過高速旋轉(zhuǎn)平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法,可以在很短的時間內(nèi)記錄具有高重復性的精確反射率數(shù)據(jù),這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。

測量 8” 樣片 625 點數(shù)據(jù) < 60 秒

2、特征


  • 單點分析(不需要預估值)


  • 動態(tài)測量


  • 包括光學參數(shù)(n和k,顏色) o 為演示保存視頻


  • 600 多種的預存材料


  • 離線分析


  • 免費軟件更新



FR-Scanner V4.png

3、性能參數(shù)


樣品尺寸

晶圓: 2 英寸-3 英寸-4 英寸-6 英寸-8 英寸-300mm1

角度與線性分辨率

5μm/0.1o

光斑

350μm

光譜范圍

370-1020nm

光譜規(guī)格

3648pixels/16bit

光源MTBF

10000h

厚度范圍 2

12nm-90μm

精度 3

0.02nm

穩(wěn)定性 4

0.05nm

準確度 5

1nm

折射率測量蕞小厚度 6

100nm

掃描速度 7

625meas/min

通訊接口

USB 2.0 / USB 3.0.

產(chǎn)品尺寸(mm)

485W x 457L x 500H

電源要求

110V/230V, 50-60Hz, 300W

外觀

防靜電噴涂鋼板和 304 不銹鋼面板

重量

40Kg

4、測量原理

白光反射光譜(WLRS)是測量從單層薄膜或多層堆疊結(jié)構(gòu)的一個波長范圍內(nèi)光的反射量,入射光垂直于樣品表面,由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或反射基板上)的薄膜的厚度、光學常數(shù)(n和k)等。


Thetametrisis膜厚儀原理

? 1* 樣片平臺可容納任意形狀的樣品。450mm平臺也可根據(jù)要求提供。真正的X-Y掃描也可能通過定制配置。

? 2* : 硅基板上的單層SiO2薄膜的厚度值。對于其他薄膜/基質(zhì),這些值可能略有不同。
? 3* : 15天平均值的標準差平均值。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅
? 4* : 2 X (超過15天的日平均值的標準偏差)。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅
? 5* : 測量結(jié)果與校準的光譜橢偏儀比較
? 6* : 根據(jù)材料
? 7* : 測量以8 "晶圓為基準。如有特殊要求,掃描速度可超過1000次測量/每分鐘

如果您想要了解更多關(guān)于Thetametrisis膜厚儀的產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們岱美儀器。

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