保證測量準(zhǔn)確度
LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。
· 有保證的測量準(zhǔn)確度*
· 奧林巴斯享譽(yù)世界的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個(gè)視場中捕捉樣品的真實(shí)形貌
· 智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測量
*本網(wǎng)頁上包括保證的準(zhǔn)確度在內(nèi)的信息基于奧林巴斯設(shè)定的條件。
簡化材料工程與失效分析實(shí)驗(yàn)管理
測試新材料時(shí)的實(shí)驗(yàn)條件管理具有復(fù)雜性，OLS5100激光顯微鏡的智能實(shí)驗(yàn)管理助手（Smart Experiment Manager）可通過關(guān)鍵步驟（如創(chuàng)建實(shí)驗(yàn)計(jì)劃）自動(dòng)化簡化這一過程。
· 提升30％的速度加快完成測量任務(wù) *
· 掃描計(jì)劃隨數(shù)據(jù)采集自動(dòng)生成
· 無需花費(fèi)時(shí)間轉(zhuǎn)錄數(shù)據(jù)，軟件為您自動(dòng)完成
自動(dòng)數(shù)據(jù)輸入
軟件會(huì)自動(dòng)將值添加到實(shí)驗(yàn)計(jì)劃矩陣中，以盡可能減少輸入錯(cuò)誤的可能。只需點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo)，就可以將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)導(dǎo)出到Excel電子表格。
簡捷的實(shí)驗(yàn)條件數(shù)據(jù)管理
通過點(diǎn)擊實(shí)驗(yàn)計(jì)劃中的每個(gè)單元格，軟件即可自動(dòng)生成包含評估條件的文件名，從而方便保存記錄。每個(gè)文件均包含相關(guān)聯(lián)的圖像和數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)采集
輕松發(fā)現(xiàn)問題
彩色 圖譜可幫助您了解實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并驗(yàn)證是否存在數(shù)據(jù)丟失和錯(cuò)誤。如果存在問題，您可以盡早發(fā)現(xiàn)并解決。
主機(jī)
| 型號(hào) | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | |
| 總倍率 | 54x–17,280x | ||||
| 視場 | 16 µm–5,120 µm | ||||
| 測量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 顏色 彩色DIC | |||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相機(jī) | ||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 nm | |||
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 16位 | ||||
| 重復(fù)性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | ||||
| 準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]） | ||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) | ||||
| 測量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 nm | |||
| 重復(fù)性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm | ||||
| 準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 測量值+/- 1.5% | ||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度[mm]） | ||||
| 單次測量時(shí)*大測量點(diǎn)數(shù)量 | 4096 × 4096像素 | ||||
| *大測量點(diǎn)數(shù)量 | 3600萬像素 | ||||
| XY載物臺(tái)配置 | 長度測量模塊 | ? | 不適用 | 不適用 | ? |
| 工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng) | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng) | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) | |
| 激光光源 | 波長 | 405 nm | |||
| *大輸出 | 0.95 mW | ||||
| 激光等級 | 2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | ||||
| 彩色光源 | 白光LED | ||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
| 質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
| 控制箱 | 約 12 kg | ||||
用于材料分析的激光顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將**的測量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡化您的工作流程。
