Innovative˙Powerful˙Affordable
設(shè)計(jì)創(chuàng)新˙功能強(qiáng)大˙經(jīng)濟(jì)實(shí)惠
Film Sense FS-1™ 多波長橢偏儀采用壽命長LED光源和非移動式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測量。
大多數(shù)厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要簡單的1秒測量，就可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。
FS-1這款功能強(qiáng)大的多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域
主要特點(diǎn)
l 4個LED光源：藍(lán)色（465nm），綠色（525nm），黃色（580nm），紅色（635nm）
l 橢偏儀探測器中無可移動部件
l 的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于0.001nm（1秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm
l 集成計(jì)算機(jī)，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本或平板電腦
在線測量功能
自動Mapping系統(tǒng)
FS-1™多波長橢偏儀，帶緊湊自動mapping樣品臺，可以實(shí)現(xiàn)快速，準(zhǔn)確和可靠的薄膜均勻性測量。
軟件控制
