型號 WUC-10, WUC-15, WUC-16
高純傳感器
應(yīng)用
半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能光伏產(chǎn)品
高純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)（氣體供應(yīng)系統(tǒng)、大宗氣體供應(yīng)和油罐區(qū)安裝）
功能特性
安全、快速可用
專為危險(xiǎn)區(qū)域的應(yīng)用而開發(fā)
可變： 設(shè)計(jì)緊湊，配置多樣
即使在溫度波動較大的情況下也能進(jìn)行精確測量
描述
WUC-10、WUC-15 和 WUC-16 型是結(jié)構(gòu)特別緊湊的超高純度傳感器，用于測量半導(dǎo)體行業(yè)超純氣體的壓力，尤其適用于危險(xiǎn)區(qū)域。與介質(zhì)接觸的部件包括符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)的電拋光不銹鋼 316L 和特殊的 2.4711/UNS R30003 薄膜傳感器。傳感器具有出色的電磁兼容穩(wěn)定性和多種電氣與工藝連接。側(cè)面的電位器便于使用，可方便地進(jìn)行零點(diǎn)設(shè)置。每個傳感器都經(jīng)過密封性和準(zhǔn)確性檢查。
安全快速
WUC 系列產(chǎn)品在無塵室條件下生產(chǎn)，并受到嚴(yán)格監(jiān)控。巨大的生產(chǎn)能力保證了大批量客戶的交貨可靠性。這樣可以節(jié)省時(shí)間、降低風(fēng)險(xiǎn)并提高生產(chǎn)率。
德國WIKA威卡WUC10/15/16系列高純傳感器
專為危險(xiǎn)區(qū)域應(yīng)用而開發(fā)
WUC 系列專為危險(xiǎn)區(qū)域而開發(fā)，通過了多項(xiàng)當(dāng)?shù)睾蛧H防爆認(rèn)證。
可變： 設(shè)計(jì)緊湊，配置多樣
WUC 系列的柵格尺寸為 28.4 mm [1 ? in]，符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，安裝高度低，電氣和工藝連接范圍廣。采用高度自動化生產(chǎn)個性化配置的解決方案。
即使在溫度波動較大的情況下也能進(jìn)行精確測量
主動溫度補(bǔ)償可檢測高波動（周期性壓力沖洗、高氣體節(jié)流值、焦耳-湯姆遜效應(yīng)）并將影響降至低。因此，在 -20 ... +80 °C [-4 ... +80 °C [-4 ... +176 °F]范圍內(nèi)的穩(wěn)定測量。
