產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號:Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
(1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
(2)響應(yīng)時間快,高靈敏度
(3)無耗材
(4)模擬/數(shù)字通信
(5)模塊化設(shè)計,便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
檢測原理 NDIR 檢測氣體 WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程 1~264ppm(0~200mTorr) 重復(fù)性 ±0.5% 線性 ±1%F.S. 檢測限 1ppm