晶元半導(dǎo)體臺階測高顯微鏡介紹 VMM測量顯微鏡系列是觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。 特點 ● 視場寬闊,可得清晰無閃爍正像 ● 高精度測量,同時具有大測量范圍和高精度,適用于各種測量 ● 可選用高NA物鏡,滿足長工作距離的測量要求 ● 照明裝置(反射/透射)可選用高亮度LED的照明或鹵素照明 ● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無衍射觀察測量 ● 各類尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺 ● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動工作臺 ● 高位目鏡觀察 ● 便捷CCD圖像成像,可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī) 觀察成像 | | 偏光觀察 觀察過濾后只有一個方向振動的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料,如礦石和液晶。 | 微分干涉對比觀察 在檢測金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時很有效。 | | | 暗視場觀察 擋住直射到物體上的光,只觀察散射光,通過高對比度能觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。 | 亮視場觀察 最普通的觀察方式,直接觀察從工件表面反射的光。 | 新功能增強(qiáng)Z軸測量精度 ● 輔助對焦(FA) 新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對焦(FA)提供更銳利的圖案,可在Z軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量誤差被降到。 規(guī)格 ● 無限遠(yuǎn)系統(tǒng),管鏡200mm ● 傾斜角度30°,瞳孔距離55-75mm,正像 ● 高眼點,大視場WF10/22 ● 鼻輪螺紋M26X0.706 ● Z軸的長度180mm,微動精度0.002mm,測量精度(at20℃),XY-軸的(2.5+0.02L)um,L=測量長度(mm)在沒有放物體分辨率為0.001mm ● 12V50W反射鹵素?zé)? ● 3W高亮度LED光源 ● 可配置輔助調(diào)焦裝置(FA) 技術(shù)參數(shù) 型號 | VMM-8Ⅰ型 | VMM-8Ⅱ型 | VMM-8 Ⅲ型 | VMM-8 Ⅳ型 | VMM-12Ⅰ型 | VMM-12Ⅱ型 | VMM-12Ⅲ型 | VMM-12 Ⅳ型 | 鏡筒 | 1×光學(xué)管徑,雙目目鏡,帶有CCD1/2靶面接口 | 觀察圖像 | 正像 | 觀測方法 | 輔助對焦系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 微分干涉對比 | 可選微分觀測對比 | 目鏡 | 10X(視場直徑:25mm),可選十字分劃板,可選:視場直徑:22mm | 物鏡(100x選配) | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x | 60mm 5x, 10x,20x, 50x | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x | 60mm 5x, 10x,20x, 50x | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x | 60mm 5x, 10x,20x, 50x | 95mm 2x, 5x,10x, 20x,50x | 60mm 5x, 10x,20x, 50x | 照明裝置 | 反射照明 | 內(nèi)置孔徑光闌,LED光源,無極亮度調(diào)節(jié),可選鹵素照明 | 透射照明 | 白色LED照明,無極亮度調(diào)節(jié) | 工作臺 | XY測量范圍 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 300*200 | 300*200 | 300*200 | 300*200 | 快速釋放裝置 | X軸和Y軸(標(biāo)配) | 調(diào)零開關(guān) | X軸和Y軸(標(biāo)配) | 數(shù)顯計器 | 顯示軸 | 2軸或3軸 | 分辯率 | 0.0005mm(可選0.00002mm) | |
| | VMM-8-Ⅰ型主圖 | VMM-8-Ⅱ型主圖 | | | VMM-8-Ⅲ型FA主圖 | VMM-8-Ⅳ型FA主圖 | | | VMM-12-Ⅰ型主圖-95mm | VMM-12-Ⅱ型主圖-60mm | | | VMM-12-Ⅲ型FA主圖-95mm | VMM-12-Ⅳ型FA主圖-60mm | 介紹 95MM金相長工作距離明場物鏡。 特點 ● 可見光成像 ● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管徑焦距200mm ● 物鏡螺紋M26 x 0.706 技術(shù)參數(shù) 平場復(fù)消色差M PLAN APO L | 數(shù)值孔徑N.A. | 工作距離W.D. | 焦距f | 景深D.F. | 分辨率R | 視場 | 目鏡(WF10/24) | 1/2"CCD攝像頭 | 2X | 0.055 | 34.6 | 100 | 91μ | 5μ | Φ12 | 2.4x3.2 | 5X | 0.14 | 45 | 40 | 14μ | 2μ | Φ4.8 | 0.96x1.28 | 10X | 0.28 | 34 | 20 | 3.5μ | 1μ | Φ2.4 | 0.48x0.64 | 20X | 0.29 | 30.8 | 10 | 3.5μ | 1μ | Φ1.2 | 0.24x0.32 | 50X | 0.42 | 20.5 | 4 | 1.6μ | 0.7μ | Φ0.45 | 0.10x0.13 | 100X | 0.55 | 12.5 | 2 | 0.9μ | 0.5μ | Φ0.24 | 0.05x0.06 | 介紹 60MM金相平場半復(fù)消色差物鏡。 特點 ● 可見光成像 ● 物鏡螺紋M26 x 0.706 技術(shù)參數(shù) 名稱 | 物鏡 | 目鏡(WF10/25) | 數(shù)值孔徑N.A. | 有效工作距離W.D.(mm) | 焦距f′(mm) | 分辨率R(μm) | 物理焦深±Δp(μm) | 物方視場(mm) | 焦點深度±Δ(μm) | 5X | 0.15 | 11.6 | 40 | 2.1 | 16.3 | Φ5 | 38.3 | 10X | 0.3 | 6.3 | 20 | 0.9 | 3.1 | Φ2.5 | 7.8 | 20X | 0.4 | 10.3 | 10 | 0.69 | 1.8 | Φ1.25 | 3.5 | 50X | 0.8 | 2 | 4 | 0.34 | 0.4 | Φ0.5 | 0.8 | 100X | 0.80 | 1.96 | 2 | 0.34 | 0.2 | Φ0.25 | 0.6 | 介紹 45MM金相平場消色差明場物鏡。 特點 ● 可見光成像 ● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管徑200mm ● 物鏡螺紋M20.32 技術(shù)參數(shù) 名稱 | 物鏡 | 目鏡(WF10/25) | 數(shù)值孔徑N.A. | 有效工作距離W.D.(mm) | 焦距f′(mm) | 分辨率R(μm) | 物理焦深±Δp(μm) | 物方視場(mm) | 焦點深度±Δ(μm) | 5X | 0.13 | 11.6 | 40 | 2.1 | 16.3 | Φ5 | 38.3 | 10X | 0.3 | 6.4 | 20 | 0.9 | 3.5 | Φ2.5 | 7.8 | 20X | 0.4 | 11.1 | 10 | 0.7 | 1.6 | Φ1.25 | 3.5 | 50X | 0.55 | 8.2 | 4 | 0.5 | 10.9 | Φ0.5 | 1.4 | 100X | 0.80 | 2 | 2 | 0.4 | 0.4 | Φ0.25 | 0.7 | 微分干涉介紹 微分干涉DIC在正交偏光的基礎(chǔ)上,插入DIC棱鏡,即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù),可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。 5X、10X、20X專為DIC設(shè)計,使得整個視場的干涉色一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。 |