1 概述
CYX50系列注油芯體壓力傳感器選用的高穩(wěn)定、高精度硅壓力芯片，采用應(yīng)力優(yōu)化設(shè)計(jì)的燒結(jié)座，通過(guò)貼片、金絲鍵合、膜片純平面焊接、高真空注油、壓力循環(huán)去應(yīng)力、高溫老煉、溫度補(bǔ)償?shù)裙に嚿a(chǎn)。
CYX50系列裝配尺寸及密封方式符合國(guó)際50卡盤接口標(biāo)準(zhǔn)，有很好的互換性。主要應(yīng)用于醫(yī)藥、食品等潔凈要求較高的行業(yè)，進(jìn)行壓力檢測(cè)。
2 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 測(cè)量范圍 -100kPa～0kPa～10kPa…7MPa
- 具有表壓G、絕壓A和密封表壓S形式
- 恒流/恒壓供電
- 隔離式結(jié)構(gòu)，適用于多種流體介質(zhì)
- Φ50.5mm 標(biāo)準(zhǔn)壓力注油芯體
- 全316L不銹鋼材質(zhì)
3 主要用途
- 醫(yī)藥食品 ● 工業(yè)過(guò)程控制 ● 氣體、液體壓力測(cè)量
4 技術(shù)指標(biāo)
4.1 電氣性能
- 供電電源：≤3.0mA; DC≤10V DC
- 電氣連接： 0.2mm2四色100mm 硅橡膠軟導(dǎo)線
- 共模電壓輸出：電流型輸入的 50%(典型值) ，電壓型輸入的 40%(典型值)
- 輸入阻抗：2.7kΩ～5kΩ
- 輸出阻抗：3.0kΩ～6kΩ
- 響應(yīng)時(shí)間(10%～90%)：＜1ms
- 絕緣電阻：500MΩ/100V DC
- 允許過(guò)壓：1.5 倍滿量程
4.2 結(jié)構(gòu)性能
- 膜片材質(zhì)：不銹鋼 316L
- 殼體材質(zhì)：不銹鋼 316L
- 引壓管材質(zhì)：不銹鋼 316L
- 管腳引線：鍍金柯伐
- 密封圈：硅橡膠
- 凈重量：約 160g
4.3 環(huán)境條件
- 振動(dòng)：在 10gRMS，（20～2000）Hz 條件下無(wú)變化
- 恒定加速度：100g，11ms
- 介質(zhì)兼容性：316L和硅橡膠兼容的液體或氣體
4.4 基準(zhǔn)條件
- 介質(zhì)溫度：（25±3）℃
- 環(huán)境溫度：（25±3）℃
- 濕度：（50%±10%）RH
- 環(huán)境壓力：（86～106）kPa
- 電源：（1.5±0.0015）mA DC
4.5 標(biāo)準(zhǔn)量程靈敏度輸出及可選壓力形式
| 量程 | 滿量程 輸出(mV) | 典型值 | 壓力 形式 |
| 量程 | 滿量程 輸出(mV) | 典型值 | 壓力形式 |
| 0～10kPa | 35～60 | 45 | G | 0～600kPa | 90～120 | 100 | G/A | |
| 0～20kPa | 70～110 | 90 | G | 0～1.0MPa | 80～120 | 100 | G/A | |
| 0～35kPa | 55～80 | 70 | G/A | 0～1.6MPa | 125～185 | 150 | G/A | |
| 0～70kPa | 55～80 | 60 | G/A | 0～2.0MPa | 50～70 | 60 | G/A | |
| 0～100kPa | 60～85 | 75 | G/A | 0～3.5MPa | 100～120 | 110 | G/S/A | |
| 0～200kPa | 65～85 | 75 | G/A | 0～7.0MPa | 120～150 | 135 | S/A | |
| 0～400kPa | 60～80 | 70 | G/A |
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4.6 基本參數(shù)
| 參 數(shù) | 典型值 | 值 | 單 位 |
| 滿量程輸出 | 100 | 250 | mV |
| 零位輸出 | ±1 | ±2 | mV |
| 非 線 性 | 0.2 | 0.5 | %FS |
| 遲 滯 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 重 復(fù) 性 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 輸入/輸出阻抗 | 2.6 | 5.0 | kΩ |
| 零點(diǎn)溫漂注1 | ±0.4 | ±1.0 | %FS,@25℃ |
| 靈敏度溫漂注2 | ±0.4 | ±1.0 | %FS, @25℃ |
| 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | 0.2 | 0.3 | %FS/年 |
| 激勵(lì)電流 | 1.5（輸入電壓可10V） | mA | |
| 絕緣電阻 | 500（100VDC） | MΩ | |
| 補(bǔ)償溫度注3 | 0～50;-10℃～70℃ | ℃ | |
| 工作溫度 | -40～+125/150 | ℃ | |
| 存儲(chǔ)溫度 | -40～+125 | ℃ | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1 | ms | |
| 外殼和膜片材料 | 316L不銹鋼 |
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| O型密封圈 | 硅橡膠 |
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| 測(cè)量介質(zhì) | 與316L、硅橡膠兼容的流體 |
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| 壽命（25℃） | ＞1×108壓力循環(huán)（80%FS） | 次 | |
| 填充介質(zhì) | 硅油 |
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| 密封圈 | 規(guī)格多樣，用戶自配 |
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| 注1、注2：0～10kPa零點(diǎn)溫漂、靈敏度溫漂典型值0.5%FS@25℃，值1.2%FS@25℃。 注3、200kPa及以下量程，補(bǔ)償溫度0～50℃；大于200kPa，補(bǔ)償溫度-10℃～70℃。
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5 選型結(jié)構(gòu)
5.1 芯體選型型號(hào)及外形圖
| 系 列 | 量 程 | 型 號(hào) | 外 形 圖 |
| CYX50 | -100kPa～7MPa | CYX5001 (-40℃～125℃) |
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| CYX5002 (-40℃～150℃) |
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6 原理圖及接線方式
IN+(紅線)-供電正 IN-(黑線)-供電負(fù) S+(黃線)-輸出正 S-(藍(lán)線)-輸出負(fù)
7 應(yīng)用提示
- 注意保護(hù)壓力芯體前膜片和后端的補(bǔ)償電路板，以免碰傷影響壓力芯體的性能或造成芯體損壞。
- 禁用手或堅(jiān)硬物按壓金屬膜片，避免因芯片變形或穿孔而導(dǎo)致芯體損壞。
- G型芯體后部通氣管要保持與大氣相通；禁止水、水汽或腐蝕性介質(zhì)進(jìn)入芯體后部的參考腔。
- 避免跌落摔碰等，會(huì)影響產(chǎn)品穩(wěn)定性。
- 管腳引線若有變化，以芯體實(shí)物攜帶標(biāo)簽為準(zhǔn)。
8 選型指南
*工藝標(biāo)識(shí)：f表示通用工藝，Y表示負(fù)壓工藝。
