核心參數(shù)
質(zhì)量分辨率0.5 amu
質(zhì)量分析范圍1000 amu
原始束流或速能量25KeV
儀器種類四極桿
產(chǎn)品介紹
儀器簡介:
1. 適合做多層薄膜的深度分析。
2. 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。
3. 方便使用。
4. 樣品可以手動轉(zhuǎn)換,由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。
5. 我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍,使我們可以輕松處理絕緣的樣品。
6. 我們還可以做元素成像(就象化學(xué)地圖)和混合模式掃描,自動測量正、負(fù)和中性粒子。
7. 我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺,很容易滿足很多其它分析的使用。
結(jié)構(gòu)緊湊,但不損失性能。真正的高性價比。
技術(shù)參數(shù):
質(zhì)量數(shù)范圍:300,510或1000amu
分辨率:5%的谷,兩個相連的等高峰。
檢測器:離子計數(shù)檢測器,正、負(fù)離子檢測
檢測限:1:10E7
質(zhì)量過濾器:三級過濾四極桿(9mm桿)
主離子槍: A,氧離子或其它氣體,能量到5KeV
B,Ga離子槍,能量25KeV(選配)
空間分辨率:A:100~150um
B: 50nm
取樣深度:2個單分子層(靜態(tài))
不受限制(動態(tài))
主要特點:
? 高靈敏度脈沖離子計數(shù)檢測器,7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
? SIMS 成像,分辨率在微米以下
? 光柵控制,增強深度分析能力
? 所有能量范圍內(nèi),離子行程的最小擾動,及恒定離子傳輸
? 差式泵3級過濾四極桿,質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu
? 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器
? Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
? 通過RS232、RS485或Ethernet LAN,軟件 MASsoft控制