產(chǎn)品介紹INTRODUCTION
- 適合做多層薄膜的深度分析。
- 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。
- 方便使用。
- 樣品可以手動(dòng)轉(zhuǎn)換,由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。
- 我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍,使我們可以輕松處理絕緣的樣品。
- 我們還可以做元素成像(就象化學(xué)地圖)和混合模式掃描,自動(dòng)測(cè)量正、負(fù)和中性粒子。
- 我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺(tái),很容易滿足很多其它分析的使用。
- 結(jié)構(gòu)緊湊,但不損失性能。真正的高性價(jià)比。
特點(diǎn)FEATURES
- 高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
- SIMS 成像,分辨率在微米以下
- 光柵控制,增強(qiáng)深度分析能力
- 所有能量范圍內(nèi),離子行程的最小擾動(dòng),及恒定離子傳輸
- 差式泵3級(jí)過(guò)濾四極桿,質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu
- 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器
- Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過(guò)壓保護(hù)
- 通過(guò)RS232、RS485或Ethernet LAN,軟件 MASsoft控制
規(guī)格參數(shù)SPECIFICATION
- 質(zhì)量數(shù)范圍:300,510或1000amu
- 分辨率:5%的谷,兩個(gè)相連的等高峰。
- 檢測(cè)器:離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,正、負(fù)離子檢測(cè)
- 檢測(cè)限:1:10E7
- 質(zhì)量過(guò)濾器:三級(jí)過(guò)濾四極桿(9mm桿)
- 主離子槍: A,氧離子或其它氣體,能量到5KeV;B,Ga離子槍,能量25KeV(選配)
- 空間分辨率:A:100~150um;B: 50nm
- 取樣深度:2個(gè)單分子層(靜態(tài));不受限制(動(dòng)態(tài))