巴克豪森噪音渦流顯微鏡 BEMI

形勢(shì)背景

   材料特性及其局部分布的認(rèn)知對(duì)于金屬材料或分層系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)和優(yōu)化非常重要。多參數(shù)微磁測(cè)試方法BEMI的應(yīng)用提供了表征材料特性或具有高空間分辨率的多層系統(tǒng)分析的能力。

BEMI (巴克豪森噪音和渦流顯微鏡)的組件

   ■ 基于3MA技術(shù)的檢測(cè)主機(jī)（3MA：微磁多參數(shù)微結(jié)構(gòu)和應(yīng)力分析）：一種功能強(qiáng)大的測(cè)試設(shè)備，用于材料和分層系統(tǒng)的微磁特性表征；
   ■ 具有高空間分辨率的特殊探頭：具有約20μm空間分辨率的電磁特性；
   ■ 掃描機(jī)：在預(yù)定的X和Y位置步進(jìn)掃描樣品表面；
   ■ 計(jì)算機(jī)：控制掃描儀，數(shù)據(jù)采集，結(jié)果可視化和評(píng)估；

特殊技術(shù)與原理

   基于3MA技術(shù)的檢測(cè)主體設(shè)備，結(jié)合了四種微磁方法：切向磁場(chǎng)強(qiáng)度的諧波分析，巴克豪森噪聲信號(hào)分析，增量磁導(dǎo)率分析，多頻渦流阻抗分析。
   這些方法在數(shù)個(gè)測(cè)試頻率上的綜合應(yīng)用，提供了四十多種微磁特性，這些特性與材料結(jié)構(gòu)和分層系統(tǒng)的特性相關(guān)。多參數(shù)方法中微磁特性的組合使得能夠分離交叉重疊的影響，例如應(yīng)力和涂鍍層厚度。這些微磁特性分布的圖像提供了有關(guān)材料均勻性的主要信息。此外，多個(gè)樣品特性的比較允許對(duì)材料或分層的特性，進(jìn)行差異定性評(píng)估。

   歸根結(jié)底，在使用具有明確特征的樣品進(jìn)行一次校準(zhǔn)之后，BEMI可以定量確定材料和分層的性能，并將其分布顯示為圖像，而且可以同時(shí)確定幾個(gè)目標(biāo)值。

應(yīng)用領(lǐng)域

   ? 對(duì)包含至少一種金屬成分的所有材料或分層系統(tǒng)進(jìn)行具有高空間分辨率的材料表征和優(yōu)化。
   ? 檢查微觀結(jié)構(gòu)或分層的均勻性。
   ? 應(yīng)力分布成像。
   ? 確定任何基材上的金屬和/或鐵磁的頂層厚度。
   ? 確定鐵磁基材上非鐵磁頂層的厚度。
   ? 多層的表征。

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經(jīng)常測(cè)試的目標(biāo)值：

?殘余應(yīng)力；
?硬度，硬度深度（近表面，例如滲氮層深度NHD）;
?分層厚度和多層特性；
?微觀結(jié)構(gòu)。

系統(tǒng)特點(diǎn)：

· 探頭和掃描儀的橫向分辨率：大約20μm，取決于材料。
· 掃描范圍10×10 mm²（按需可配更大的區(qū)域）。
· 每個(gè)測(cè)量位置的測(cè)量時(shí)間≤1 s。
· 取決于材料，分層厚度的測(cè)量范圍為5 nm至100μm。

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