可升級(jí)450 PM手動(dòng)探針平臺(tái),6-8英寸晶圓測(cè)量
450PM手動(dòng)探針平臺(tái)技術(shù)規(guī)格:
450PM 手動(dòng)探針平臺(tái)整體尺寸 | ||
設(shè)備占地面積(寬度 x 深度) | 22.75 x 23.35英寸(57.7 x 59.3 cm ) | |
探針臺(tái)尺寸(寬度x深度x高度) | 28.5 x 26.75 x 21.5英寸(72.3 x 67.9 x 54.6 cm ) | |
探針臺(tái)重量 | 191磅(86.6 kg ) | |
X-Y平臺(tái)移動(dòng) | ||
行程 | 8 x 8英寸(200 x 200 mm ),手動(dòng)控制 | |
分辨率 | 1 um per degree | |
顯微鏡 | ||
精細(xì)聚焦控制精度 | 1英寸(25.4 mm ) | |
行程(X-Y) | 8X8英寸(200X200 mm ) | |
鋁壓板 | ||
450PM-A | Z軸行程 | 1英寸(25.4 mm ) |
分辨率 | 40 um(0.0015英寸)/轉(zhuǎn) | |
450PM-B | 固定鋁壓板 |
450PM手動(dòng)探針平臺(tái)為您提供了一個(gè)具有成本效益的擁有Micromanipulator品牌較高性能探針平臺(tái)的選擇,450PM正在成為范圍內(nèi)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室選擇的手動(dòng)探針平臺(tái)。
美國(guó) Micromanipulator 設(shè)計(jì)的450PM 8英寸晶圓探針平臺(tái)通過(guò)其較低的成本和穩(wěn)定可靠的探測(cè)性能來(lái)體現(xiàn)自己的價(jià)值的。450PM手動(dòng)探針平臺(tái)的設(shè)計(jì)是基于 Micromanipulator 旗下較受歡迎的4060手動(dòng)探針平臺(tái),450PM手動(dòng)真空探針系統(tǒng)具有有廣泛的應(yīng)用范圍和靈活的應(yīng)用的設(shè)置,是可進(jìn)行6-8英寸晶圓檢測(cè)的 Micromanipulator真空探針臺(tái)。
客戶希望 Micromanipulator真空探針臺(tái)保持品牌一貫的開放、靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì),使450PM手動(dòng)真空探針系統(tǒng)在提供測(cè)量穩(wěn)定性的同時(shí),支持與其他探針、探針卡、微操縱器等精確、可靠的機(jī)械裝置結(jié)合使用。450PM手動(dòng)8英寸晶圓探針平臺(tái)在繼承這一傳統(tǒng)的基礎(chǔ)上為那些不需要探針平臺(tái)具有低電流使用能力和精確定位能力的客戶提供了一種更加經(jīng)濟(jì)的進(jìn)行6-8英寸晶圓檢測(cè)的緊湊型手動(dòng)探針平臺(tái)的選擇。同時(shí)450PM手動(dòng)探針平臺(tái)還加上了一些 Micromanipulator 品牌中銷量較好的4000和8000系列探針平臺(tái)上一些便利功能。
450PM手動(dòng)真空探針系統(tǒng)為日常分析測(cè)量提供了一個(gè)高性能的緊湊型手動(dòng)探針平臺(tái)解決方案,并提供豐富的配件選擇,以便根據(jù)您的具體需要配置450PM手動(dòng)真空探針系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行6-8英寸晶圓檢測(cè)。探針卡座、熱壓版、 操縱器、的探針支架、隔震臺(tái)、顯微鏡及其配套的攝像系統(tǒng)等都是常用的配置選項(xiàng)。
450PM手動(dòng)探針平臺(tái)
450PM手動(dòng)8英寸晶圓探針平臺(tái)的特點(diǎn)和便利性:
-較高壽命的手動(dòng)螺桿控制平臺(tái);穩(wěn)定、高效的定位
-可用于直流、射頻、微波和高功率應(yīng)用
-450PM-A型號(hào)上提供螺桿控制的壓盤,用于探針卡的固定。
-手動(dòng)壓板是帶有鎖扣的,可以進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)
-手動(dòng) X-Y 軸定位可滿足精確聚焦的要求以配合穩(wěn)定吊桿上的立體變焦復(fù)合顯微鏡使用。
-符合人體工學(xué)的緊湊設(shè)計(jì)提高了使用便利性,同時(shí)增加了穩(wěn)定性
-緊湊型手動(dòng)探針平臺(tái)的設(shè)計(jì)減小了設(shè)備占地面積,能夠有效利用實(shí)驗(yàn)室空間
-大型鋁壓板允許操作員選擇合適的位置使用微操縱器
-8英寸(200 mm )的常溫真空壓板,具有全晶圓覆蓋級(jí)尺寸的行程
-可選配冷/熱夾具、熱壓板、內(nèi)部電纜、軟管等組件,在探針平臺(tái)的后部有終端方便進(jìn)行操作。
-可升級(jí)的設(shè)計(jì)方便450PM手動(dòng)探針平臺(tái)與其他探針、微操縱器等機(jī)械設(shè)備結(jié)合使用
450PM可升級(jí)手動(dòng)探針平臺(tái)常見的升級(jí)選擇:
-更高分辨率光學(xué)元件
-更高準(zhǔn)確度的光學(xué)定位器件
-可選配熱壓板,溫度可提升到400 °C
-升級(jí)的探針卡硬件
-其他效率提升的因素
450PM手動(dòng)真空探針系統(tǒng)可選配件信息:
-微操縱器:110/210系列;525系列
-熱壓板:H1000系列熱壓版
-顯微鏡:復(fù)合顯微鏡
-防止光線入射的外殼
-視頻拍攝設(shè)備