P200L的可靠性和精度，特點(diǎn)是絲杠-導(dǎo)絲螺母臺(tái)和臺(tái)板驅(qū)動(dòng)器，一個(gè)不銹鋼臺(tái)板，可拆卸前楔和高穩(wěn)定性顯微鏡橋，支持所有高分辨率的長(zhǎng)工作距離顯微鏡。微操作器P200L 200mm半自動(dòng)探頭站的標(biāo)準(zhǔn)功能，如單點(diǎn)地面和集成熱吸盤(pán)管道。

定制P200L為兩種流行的主機(jī)控制方法:

-直接指向標(biāo)準(zhǔn)的非基于windows的控制器，或者

-直接到可選的NetProbe 7軟件釋放的權(quán)力，包括晶圓地圖，集成視頻，theta對(duì)準(zhǔn)，子模，和模式識(shí)別

標(biāo)準(zhǔn)的P200L的通用的非基于windows的控制器支持USB或GPIB，(取決于訂購(gòu)的配置)通信。舞臺(tái)X-Y和壓板(Z)是機(jī)動(dòng)/可編程的。顯微鏡運(yùn)動(dòng)是手動(dòng)的。該系統(tǒng)可以通過(guò)腳本和所有流行的參數(shù)測(cè)試分析探針驅(qū)動(dòng)器來(lái)控制。一個(gè)索引腳本與用戶(hù)GUI和Labview VI提供了允許使用該系統(tǒng)的開(kāi)箱即用。

Micromanipulator致力于確保我們的半自動(dòng)系統(tǒng)是靈活的，以便應(yīng)用如磁靈敏度測(cè)試，探針卡，毫米波，晶片和板級(jí)測(cè)試。一旦你制定了你的測(cè)試計(jì)劃，我們也有很好的關(guān)系，所以如果需要，我們可以把你轉(zhuǎn)移到一個(gè)全自動(dòng)探測(cè)器站。

標(biāo)準(zhǔn)的操縱桿控制允許簡(jiǎn)單和快速的操作時(shí)，可編程性是不需要的。操縱桿直觀地操縱著臺(tái)臺(tái)和臺(tái)板。P200L可配置一個(gè)局部干燥/屏蔽/黑暗環(huán)境，“高帽”用于低電平或低溫、無(wú)霜探測(cè)。

支持三種溫度范圍:

-環(huán)境溫度(室溫)至400C

-0 c - 400 c

-65 c到400 c

P200L是高性能、全性能和低成本的200mm半自動(dòng)探頭站的選擇。

專(zhuān)為小電流、亞微米定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)微操作器P200L的標(biāo)準(zhǔn)與特點(diǎn)，如單點(diǎn)地面和集成熱吸盤(pán)管道。建造的可靠性和精度，P200L的特點(diǎn)是絲杠-螺帽舞臺(tái)和壓板驅(qū)動(dòng)器，不銹鋼壓板與可移動(dòng)的前面楔型和高穩(wěn)定性顯微鏡橋，支持所有高分辨率長(zhǎng)工作距離顯微鏡。P200L的通用控制器支持USB, GPIB, RS-232和TCP/IP通信(配置了適當(dāng)?shù)倪x項(xiàng))。舞臺(tái)x - y和壓板(Z)是機(jī)動(dòng)/可編程的。顯微鏡機(jī)動(dòng)可編程控制也是一種選擇。這個(gè)系統(tǒng)可能是通過(guò)腳本控制和所有流行的參數(shù)檢驗(yàn)分析檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)程序。提供了一個(gè)索引腳本與用戶(hù)GUI和Labview VI允許使用開(kāi)箱即用的系統(tǒng)?？删幊梯S也可以通過(guò)可選的netProbe7來(lái)控制軟件具有廣泛的GUI特色導(dǎo)航，晶圓地圖，子模具和視頻應(yīng)用程序和路由器應(yīng)用的GPIB連通性(單獨(dú)訂購(gòu)netProbe7)。操縱桿控制允許簡(jiǎn)單和快速的操作時(shí)可編程性不是必需的。操縱桿直觀地操作臺(tái)臺(tái)和臺(tái)板(Z)。操縱桿控制系統(tǒng)顯微鏡X-Y和Z用于這樣配置的系統(tǒng)。P200L可配置局部干/屏蔽/暗環(huán)境(選項(xiàng)顯示在照片與前楔打開(kāi))和低水平或低溫探測(cè)用“禮帽”。P200L是一個(gè)高性能，充分的站的選擇能力和成本效益200毫米半自動(dòng)探頭站。

-高穩(wěn)定性的機(jī)加工底座和顯微鏡橋?yàn)樾∧繕?biāo)探測(cè)支持所有高分辨率顯微鏡。

-不銹鋼板支持真空或磁性底座操縱器和提供長(zhǎng)壽命有吸引力的完成?？梢苿?dòng)的前楔板為機(jī)械手和進(jìn)入提供了額外的空間端口配置為本地干/暗環(huán)境時(shí)。

-舞臺(tái)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是澆注舞臺(tái)核心和交叉輥穩(wěn)定和堅(jiān)固的軸承結(jié)構(gòu)。導(dǎo)螺桿-鉛螺母階段和壓板驅(qū)動(dòng)器提供高精度，以及在大的接觸面積上分布驅(qū)動(dòng)力，使用壽命長(zhǎng)。

-緊湊的外形提高了穩(wěn)定性，并提供了較小的空間足跡小化實(shí)驗(yàn)室空間需求。

-就地控制工位/滾筒(和可選的顯微鏡)X-Y-Z驅(qū)動(dòng)器由操縱桿提供。

可編程控制的舞臺(tái)/壓板通過(guò)用戶(hù)主機(jī)接口(USB)和RS-232標(biāo)準(zhǔn)，GPIB和TCP/IP可用)通過(guò)高層索引應(yīng)用程序與X-Y索引和Platen Up/下定位控制提供標(biāo)準(zhǔn)。國(guó)家儀器Labview控件庫(kù)和控制器VI提供標(biāo)準(zhǔn)可編程軸也可以通過(guò)可選的netProbe7來(lái)控制軟件具有廣泛的GUI特色導(dǎo)航，晶圓地圖，子模具和視頻應(yīng)用程序和路由器應(yīng)用的GPIB連通性(單獨(dú)訂購(gòu)netProbe7)。

Micromanipulator P200L半自動(dòng)探針平臺(tái)規(guī)格:

-腳印(寬度x深度)22.75“x 23.35”(57.7 x 59.3 cm)。

-站寬、深、高28.5 " x 26.75 " x 21.5 " (72.5 x 68.0 x 55.0厘米)。250磅(115公斤)。

-200級(jí)x 200mm (x - y)、x 25mm (Z - platen)驅(qū)動(dòng)范圍:支持高達(dá)200mm的晶圓片/樣品。

-級(jí)分辨率0.5微米，精度+/- 5 um，重復(fù)性+/- 2 um，支持探測(cè)小的目標(biāo)。

-不銹鋼(磁性)滾筒4點(diǎn)電動(dòng)/可編程1um分辨率絲杠驅(qū)動(dòng)器+/- 1um可重復(fù)性:手動(dòng)控制0.7 um分辨率- 15度范圍標(biāo)準(zhǔn)?？蛇x電動(dòng)/可編程的theta驅(qū)動(dòng)器。

-手動(dòng)顯微鏡100 x 100mm (x - y)， x 50mm (Z)額外32mm Z顯微鏡的機(jī)械定位標(biāo)準(zhǔn)。機(jī)動(dòng)/可編程顯微鏡驅(qū)動(dòng)器(見(jiàn)圖)可選的。

獨(dú)立顯微鏡抬升，可調(diào)顯微鏡抬升延遲(如圖所示，帶壓盤(pán)升降顯微鏡)可選集成干/暗外殼:提供EMF屏蔽和外殼為低溫查克干燥探頭卡持有人，輕型密封外殼，熱卡盤(pán)，視頻配件、手動(dòng)/電動(dòng)機(jī)械手。

-200mm半自動(dòng)測(cè)片機(jī)

-可選的NETPROBE-7控制軟件與晶圓地圖，集成視頻，theta對(duì)準(zhǔn)，子模，和模式識(shí)別

-受歡迎的測(cè)試公司包括Keysight、Keithley和LabVIEW都可以提供駕駛員

-可配置的直流，射頻，微波，和高功率的應(yīng)用

-65℃到400℃可配置

P300L探針系統(tǒng)，P300J電動(dòng)手動(dòng)探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)的半自動(dòng)探針系統(tǒng)：

由于型號(hào)P300L探針系統(tǒng)，P300J電動(dòng)手動(dòng)探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)的半自動(dòng)探針系統(tǒng)和P200L半自動(dòng)探針系統(tǒng)規(guī)格相近這里不一一列舉，有需要的客戶(hù)可以向工作人員咨詢(xún)規(guī)格書(shū)。

它們的全系列的配件和選項(xiàng)，主要包括：

探頭卡持有人，輕型密封外殼，熱夾頭，視頻配件，手動(dòng)/電動(dòng)操作器。

P300L探針系統(tǒng)，P300J電動(dòng)手動(dòng)探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)設(shè)備要求:

-測(cè)試站:真空:25 in-Hg

-控制器:85至265 VAC, 47-63 Hz, 2.4安培，典型

P300L探針系統(tǒng)，P300J電動(dòng)手動(dòng)探針系統(tǒng)和P300A探針系統(tǒng)試驗(yàn)臺(tái)尺寸(寬、深、高、重):

-站姿:33 " x 40 "全系列的配件和選項(xiàng)，包括:探頭卡持有人，輕型密封外殼，熱夾頭，視頻配件，手動(dòng)/電動(dòng)操作器。

-測(cè)試站:真空:25 in-Hg

-控制器:85至265 VAC, 47-63 Hz, 2.4安培，典型

(寬、深、高、重):

-站姿:33 " x 40 " x 33 " (84 x 102 x 84厘米)，480磅(218公斤)

-控制器獨(dú)立-尺寸取決于配置 x 33 " (84 x 102 x 84厘米)，480磅(218公斤)

-控制器獨(dú)立-尺寸取決于配置