SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)，長行程，高精度，壓電納米定位
英國Prior·queenstage 推出的壓電納米定位平臺(tái)：SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)，該納米壓電位移平臺(tái)具有非常低的運(yùn)動(dòng)誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實(shí)現(xiàn)超高速性能和低納米級(jí)重復(fù)性。此壓電納米定位臺(tái)樣品架和載物臺(tái)可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測試和半導(dǎo)體檢測的廣泛應(yīng)用。閉環(huán)行程500um。SP-Mini-500壓電納米定位臺(tái)，占地面積小，是理想的易于集成在儀器或測試設(shè)備中的緊湊型納米壓電定位臺(tái)。該Prior·queenstage的納米壓電位移平臺(tái)具有非常低的運(yùn)動(dòng)誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實(shí)現(xiàn)超高速性能和低納米級(jí)重復(fù)性。
SP-Mini-500壓電納米定位臺(tái)主要應(yīng)用：
-高精度顯微鏡：共聚焦和光片等
-硬盤檢測
-半導(dǎo)體檢測和制造
-配合科學(xué)和醫(yī)療研究設(shè)備使用
-鏡片定位
-納米壓電位移和納米樣品定位等
SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)的平臺(tái)在整個(gè)500微米的行程范圍內(nèi)保持非常穩(wěn)定的狀態(tài)。這使得樣品架可以偏移放置。此電動(dòng)Z軸在保持高性能定位的同時(shí)提高了對檢測設(shè)備對于樣品的定位能力。此Prior?queenstage的壓電納米定位臺(tái)的樣品架和載物臺(tái)可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測試和半導(dǎo)體檢測的廣泛應(yīng)用。
SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺(tái)
緊湊型納米壓電定位臺(tái)SP-Mini-500的主要特點(diǎn)：
-＞500 um行程，納米級(jí)分辨率
-非常低的旋轉(zhuǎn)誤差：0.0025°
-電容式定位傳感器，提供較高位置精確度和準(zhǔn)確度。2 nm分辨率和5 nm重復(fù)度
-線性誤差一般為＜0.002%
-動(dòng)態(tài)性能：空載諧振頻率一般為210 Hz，同服環(huán)路帶寬可達(dá)55 HZ
-原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
-即插即用：載物臺(tái)連接器包含載物臺(tái)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和參考傳感器，便于控制器互換
-壓電納米定位
壓電納米定位臺(tái)SP-Mini-500的技術(shù)規(guī)格
| 技術(shù)規(guī)格 | 參數(shù) | 單位 | ||
| 材質(zhì) | 鋁和不銹鋼 | | ||
| 尺寸 | 36.5 x 60 x 24.5 10 15x15mm | mm | ||
| | 最小 | 常規(guī) |
| |
| 開環(huán)行程 | 550 | 650 | | um |
| 閉環(huán)行程 | | 500 | | um |
| 靜態(tài)剛度 | | 0.135 | | Num-1 |
| 諧振頻率：0 g負(fù)載 | | 210 | | Hz |
| 諧振頻率：20g負(fù)載 | | 195 | | Hz |
| 諧振頻率：負(fù)載 | | | 1 | Kg |
| 動(dòng)力參數(shù) | 慢速 | 中速 | 快速 | |
| 3 dB帶寬 | | | 55 | Hz |
| 小信號(hào)穩(wěn)定時(shí)間 | | | 10 | ms |
| 位置噪音/分辨率 | 2 | | 5 | nmrms |
| 重復(fù)性（半程） | 5 | | | nm |
| 誤差 | 最小 | 常規(guī) |
| 單位 |
| 線性誤差（峰值） | | 0.02 | | % |
| 旋轉(zhuǎn)誤差（roll） | | 0.0025 | | deg |
| 旋轉(zhuǎn)誤差（pitch） | | 0.0025 | | deg |
| 旋轉(zhuǎn)誤差（yaw） | | 0.005 | | deg |
Prior電動(dòng)Z軸SP-Mini-500壓電納米位移臺(tái)的可選配件：
-35 mm培養(yǎng)皿插件
-單波片夾具
納米壓電位移臺(tái)SP-Mini-500需要配合英國Prior·queenstage專門為壓電納米定位設(shè)備研發(fā)的NPC-D-6110控制器。其強(qiáng)大的數(shù)字控制器可以的速度驅(qū)動(dòng)納米壓電位移臺(tái)SP-Mini-500。
