LuphoScan高速光學(xué)非球面3D測量系統(tǒng)
LuphoScan 260/420 HD測量臺開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計量的新領(lǐng)域,能夠測量物件角度大至90°度,測量精度高于±50 nm (3σ) 。測量結(jié)果有著的重復(fù)性且低噪音。
可測量坡度的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機(jī)鏡頭模具??焖俚摹⒅档眯刨嚨姆乔蛎姹砻娣墙佑|式三維形狀測量。
物件坡度高至90°度,是測量大的、陡峭的和極小的非球面鏡頭(如手機(jī)鏡頭模具)的理想選擇。
Power和PV測定參數(shù)的穩(wěn)定性。