系統(tǒng)簡介
SNE-4500M是一款高性價比的臺式掃描電鏡。系統(tǒng)設(shè)計緊湊,占地面積小,安裝簡便。無需特殊的使用環(huán)境。非常適用于實驗室應(yīng)用。產(chǎn)品有多種型號可選,放大倍率從6萬倍-15萬倍,分辨率5nm-15nm,具有BE/BSE二次電子和背散射電子(BE/BSE)兩種探測模式,可搭載EDS能譜儀。不僅能顯示試樣表面的微觀形貌,還可進行定性成分分析。該產(chǎn)品操作簡便,測樣速度相當快。維護方便快捷。
系統(tǒng)特點
高性價比
分辨率5nm
放大倍率15萬倍
BE/BSE(二次電子/背散射電子)
五軸自動載物臺
加速電壓1 ~ 30kV連續(xù)可調(diào)
EDS 能譜儀連用,
高性價比
性能優(yōu)異,使用簡便,維護及使用成本低,價格便宜,售價與光學(xué)顯微鏡相當。具有的性價比。
放大倍率15萬倍,分辨率5nm
BE/BSE(二次電子/背散射電子)
SE(Secondary Electron)二次電子以樣品表面形態(tài)信息構(gòu)現(xiàn)影像,主要用于顯示樣品表面的微觀形貌。
BSE(Backscattered Electron)背散射電子,以組成樣品的成分(原子序數(shù))為成像原理,利用背反射電子作為成像信號不僅能分析形貌特征,也可以用來顯示原子序數(shù)襯度,定性進行成分分析。
該設(shè)備能實現(xiàn)在雙視圖模式下同時對SE/BSE圖像進行查看和存檔
EDS 能譜儀連用
可搭配Bruker或牛津EDS能譜儀,能譜與SEM結(jié)合使用可以同時獲得表面形貌與成分的信息
加速電壓1 ~ 30kV連續(xù)可調(diào)節(jié)
加速電壓越高,分辨率越好,但是對樣品穿透性越高,樣品表面細節(jié)丟失越多,加速電壓越低樣品微觀細節(jié)越充分但是分辨率較低,SEC電鏡產(chǎn)品為獲得更佳的SEM拍攝效果,加速電壓連續(xù)可調(diào),使得客戶在進行樣品SEM拍攝時可以獲得樣品形貌更多的細節(jié)。
五軸載物臺
采用X,Y,Z,R,T五軸全自動設(shè)計,可同時運用鼠標與快捷鍵控制載物臺無限制的運動,從而實現(xiàn)電鏡對樣品的分析,T軸旋轉(zhuǎn)角度為-45°~90°,可獲取多角度拍攝,該系統(tǒng)還具備光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),位置記憶功能。
詳細參數(shù)
型號 | SNE-4500M Plus-A | SNE-4500M Plus-B | SNE-4500M | SNE-3000MS | SNE-3200M |
分辨率 | 5? | 5? | 5? | 15? | 15? |
放大倍率 | 150,000x | 150,000x | 100,000x | 60,000x | 60,000x |
測量模式 | SE | SE/BSE | SE | SE | SE/BSE |
載物臺 | 五軸自動 | 五軸自動 | 五軸手動 | 三軸手動 | 三軸手動 |
樣品尺寸 | 80㎜(D) / 50㎜(H) | 80㎜(D) / 50㎜(H) | 80㎜(D) / 35㎜(H) | 70㎜(D) / 30㎜(H) | 70㎜(D) / 30㎜(H) |
電子束類型 | 鎢燈絲 | ||||
加速電壓 | 1-30?連續(xù)可調(diào) | ||||
顯示模式 | 320 x 240 / 640 x 480 / 1,280 x 960 / 2,560 x 1,920 / 5,120 x 3,840 | ||||
圖像樣式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | ||||
真空泵 | 機械泵+分子泵 |
應(yīng)用實例