概述

SE-L 是一款全自動(dòng)高精度光譜橢偏儀，集眾多科技技術(shù)，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動(dòng)測(cè)量模塊。通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。

。高精度自動(dòng)測(cè)量光學(xué)橢偏測(cè)量解決方案
。全自動(dòng)變角、調(diào)焦等控制平臺(tái)，一鍵快速測(cè)量
。軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì)，易上手、操作便捷
。豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力

產(chǎn)品特點(diǎn)

采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)；

高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；

全自動(dòng)橢偏測(cè)量技術(shù)，基于行業(yè)電機(jī)控制技術(shù)，全自動(dòng)調(diào)整測(cè)量角度，高精度控制樣件臺(tái)，實(shí)現(xiàn)樣件快速自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)找焦；

頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜；

數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等；

平板顯示：TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等；
光伏太陽能：光伏材料（如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等）反射率，消光系數(shù)測(cè)量，膜層厚度及表面粗糙度測(cè)量等；
功能性涂料：增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層，以及高分子、油類、Al2O3表面鍍層和處理等；
生物和化學(xué)工程：有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理等；
塊狀材料分析：固體（金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等）或液體（純凈物或混合物）的折射率n和消光系數(shù)k表征，玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等。

建議配件