設(shè)備特點(diǎn)：
該款設(shè)備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成，內(nèi)控?zé)犭娕加糜诳刂芌TP滑軌爐內(nèi)的溫度，伺服電機(jī)用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度達(dá)到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調(diào)節(jié)爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取，進(jìn)氣口除用于通入保護(hù)氣體或反應(yīng)氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。
結(jié)構(gòu)與原理：
設(shè)備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。
1、單端封口小型紅外滑軌爐：
該加熱系統(tǒng)采用制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。
該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內(nèi)部溫度，加熱區(qū)長度為370mm，恒溫區(qū)長度200mm，確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi)，為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護(hù)氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達(dá)到2℃/s， 試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。
2、電機(jī)調(diào)速裝置：
伺服電機(jī)調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度，達(dá)到控制爐管部分的整體移動速度（含樣件），以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率，電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度實(shí)時(shí)顯示并且精確可控，以獲得精確的移動速度，滿足降溫時(shí)工藝參數(shù)要求。
3、主要參數(shù)
| 加熱系統(tǒng) | |
| 供電電源 | 220V，50Hz |
| 額定功率 | 10KW |
| 石英管尺寸 | Φ210*370mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 控溫精度 | ±5℃ |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶（內(nèi)插） |
| 控制方式 | 該系統(tǒng)人機(jī)界面+PLC控制，10寸液晶屏顯，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度等信息。 |
| 氣路系統(tǒng) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制） |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5% |
| 線性 | ±0.5～1.5% |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 真空系統(tǒng) | |
| 機(jī)械泵 | 抽氣速率：4L/S 容油量：1.1L 電機(jī)功率：400W~ 極限壓強(qiáng)：6×10-2Pa |
| 分子泵 | 抽氣速率：100L/S 極限壓強(qiáng)：1×10-4Pa 啟動時(shí)間：＜2min 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分 冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)看，水冷。 |
| 分子泵控制器 | 電壓：220V±22V 啟動電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ 輸出功率：≤150W 加速電壓：≤40V 加速時(shí)間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ |
| 復(fù)合真空計(jì) | 測量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路） 工作模式：手動/自動 電阻單元參數(shù) 規(guī)管型號：ZJ-52T電阻規(guī) 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數(shù) 規(guī)管型號：ZJ-27電離規(guī) 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規(guī)管除氣方式：焦耳去氣 其他參數(shù) 控制路數(shù)：4路 控制方式：點(diǎn)動或區(qū)域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時(shí)間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環(huán)境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% |
| 連接管路 | 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s |
