ZED51埃米級(jí)超穩(wěn)定差動(dòng)電渦流傳感器特點(diǎn)：
?（1）、每通道兩個(gè)精確匹配的傳感器使分辨率達(dá)到1nm（動(dòng)態(tài)，靜態(tài)分辨率可達(dá)0.1nm）；
（2）、超耐熱，長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定：1.27x10-4mm/月或更好；
（3）、有耐低溫傳感器；
（4）、超高靈敏度，到394 mV/µm；
（5）、低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情況下)；
（6）、探頭和控制器都可用于低至 10-6Torr 的真空應(yīng)用；
（7）、小尺寸：2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。
對(duì)于被測(cè)物的要求：
1、 材料： KD5100不可以檢測(cè)鐵、鎳和它們的許多合金（磁性導(dǎo)電的被測(cè)物）；鋁是的目標(biāo)材料。只要遵守目標(biāo)厚度指南，您就可以將鋁目標(biāo)安裝在溫度特性更穩(wěn)定的材料上，例如 Invar 或其他基板。 -- PS：可根據(jù)客戶項(xiàng)目要求，直接使用除鋁以外的目標(biāo)材料進(jìn)行校準(zhǔn)。
2、厚度：為避免目標(biāo)溫度變化引起的變化，被測(cè)物的最小厚度應(yīng)至少為三個(gè)趨膚深度。在傳感器彼此相對(duì)的情況下，鋁目標(biāo)厚度必須至少為 0.050 英寸，以防止傳感器相互作用。
3、尺寸：最小目標(biāo)橫截面必須是傳感器直徑的 1.5 到 2 倍。
ZED51埃米級(jí)超穩(wěn)定差動(dòng)電渦流傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
差動(dòng)測(cè)量： 兩個(gè)精確匹配的傳感器被放置在被測(cè)物平臺(tái)兩側(cè)，這兩個(gè)傳感器組成了平衡橋電路相反的兩端，這個(gè)結(jié)構(gòu)提供了的線性和熱穩(wěn)定性，所以其輸出準(zhǔn)確地記錄了線性的最微小移動(dòng)。如激光反射鏡聚焦平臺(tái)定位。
低溫應(yīng)用： 20N傳感器有一個(gè)專門的低溫應(yīng)用版本，它有一個(gè)內(nèi)部伸縮接頭，當(dāng)用螺絲安裝一個(gè)貝勒維爾墊圈后，可有效消除壓力或溫度引起的機(jī)械變性。已證明其在70°K的液態(tài)氮中有異的性能。好幾個(gè)空間項(xiàng)目在4°K的液態(tài)氦環(huán)境中使用了此傳感器。
真空應(yīng)用： 傳感器和ZED51的電子器件都已用在10-6托的真空應(yīng)用中了。
超高精度宇航應(yīng)用： 已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標(biāo)準(zhǔn)的。ZED51在戰(zhàn)斗環(huán)境下超過(guò)55,000小時(shí)，太空飛行環(huán)境下超過(guò)238,000小時(shí)。 小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ，可應(yīng)用于空間狹小的場(chǎng)合。
商業(yè)差動(dòng)： ZED52差分系統(tǒng)就是ZED51的一個(gè)商業(yè)版本。此系統(tǒng)大大減小了微分系統(tǒng)的成本，又保持了性能優(yōu)勢(shì)。在重量、大小和能耗沒有特殊限定的情況下，這些差動(dòng)系統(tǒng)是。
中繼鏡片激光定位（RME）： RME演示了一束從地球發(fā)射到450公里軌道上人造衛(wèi)星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標(biāo)地面。 ZED51被用于精確定位60cm的中繼鏡片，其精度高于試驗(yàn)?zāi)繕?biāo)的16倍，視線穩(wěn)定度高2.3倍。
半導(dǎo)體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦： 激光微注技術(shù)被用于開發(fā)半導(dǎo)體圓晶片制造中的“直接寫入”應(yīng)用和高吞吐量模板圖案應(yīng)用，而且還被融合進(jìn)0.1微米工藝的產(chǎn)品中。ZED51就被應(yīng)用到此技術(shù)中，精確控制激光的位置，完成超高精確位置、關(guān)鍵尺寸和對(duì)齊控制。
其它應(yīng)用：精確望遠(yuǎn)鏡定位、磁懸浮軸定位。
ZED51埃米級(jí)超穩(wěn)定差動(dòng)電渦流傳感器技術(shù)規(guī)格：
ZED51埃米級(jí)超穩(wěn)定差動(dòng)電渦流傳感器測(cè)量原理：
差分測(cè)量系統(tǒng)是精密測(cè)量技術(shù)的重大進(jìn)步。 它們提供出色的分辨率、可重復(fù)性和歸零精度，用于檢測(cè)導(dǎo)電目標(biāo)相對(duì)于一對(duì)非接觸式傳感器的對(duì)齊/居中位置。
對(duì)于差分測(cè)量應(yīng)用，每個(gè)通道有兩個(gè)精確匹配的傳感器位于目標(biāo)的相對(duì)兩側(cè)或兩端。在這種傳感器到目標(biāo)的關(guān)系中，當(dāng)目標(biāo)遠(yuǎn)離一個(gè)傳感器時(shí)，它向另一個(gè)傳感器移動(dòng)等量。輸出為差分和雙極。 同一電橋的相對(duì)腿上的電子匹配傳感器提供了的熱穩(wěn)定性。
