1、氣體傳感器:稱重壓力傳感器元器件多見金屬氧化物半導(dǎo)體,有時(shí)候之中添加少量貴重金屬作增敏劑,提升對(duì)汽體的活性功效。針對(duì)電子器件給與性的還原性氣體如氫、一氧化碳、烴等,用N型半導(dǎo)體,對(duì)接納電子器件性的空氣氧化氣體如氧,用P型半導(dǎo)體。將半導(dǎo)體以薄膜狀固定不動(dòng)于絕緣層硅片或多孔結(jié)構(gòu)煅燒體上制成傳感器元器件。氣體傳感器又分成半導(dǎo)體氣體傳感器、固態(tài)電解質(zhì)溶液氣體傳感器、觸碰點(diǎn)燃式氣體傳感器、晶體振蕩式氣體傳感器和有機(jī)化學(xué)式氣體傳感器。
2、濕度傳感器:是測(cè)量自然環(huán)境中水汽成分的傳感器,又分成電解質(zhì)溶液式、高化學(xué)式、瓷器式和半導(dǎo)體式濕度傳感器。
3、離子傳感器:是對(duì)離子具備選擇響應(yīng)的離子可選擇性電級(jí)。它根據(jù)對(duì)離子可選擇性回應(yīng)的膜造成的膜電位。扭矩稱重傳感器的磁感應(yīng)膜有玻璃貼膜、溶有活性物質(zhì)的液體膜及高分子材料膜,應(yīng)用較多是聚乙烯膜。