中圖儀器VT6000共聚焦3D顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。主要采用3D捕獲的成像技術，它通過數(shù)碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力。所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學顯微鏡，擅長微納級粗糙輪廓的檢測。

它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

產品功能

(1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

(2)設備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

(3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據并提供數(shù)據報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；

(4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據處理功能；

(5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據文件的快速分析功能；

功能特點

1、測量模式多樣

單區(qū)域、多區(qū)域、拼接、自動測量等多種測量模式可選擇，適應多種現(xiàn)場應用環(huán)境；

2、雙重防撞保護功能

Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護；

3、分析功能豐富

3D：表面粗糙度、平整度、孔洞體積、幾何曲面、紋理方向、PSD等分析；

2D：剖面粗糙度、幾何輪廓測量、頻率、孔洞體積、Abbott參數(shù)等分析。

VT6000共聚焦3D顯微鏡具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準確的操作。清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié)，顯示出精細的細節(jié)圖像。

應用領域

對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

部分技術指標

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