一、硬件配置及說明
1) 方阻探頭：
由于電阻率范圍較大，需要采用兩中規(guī)格探頭，如下：
中量程（上下探頭，0.02-1.5Ω*cm，厚度約700um）
高量程（上下探頭，1.0-100Ω*cm，厚度約700um）
2) PN探頭：
測試樣片PN類型
3) 多點測試平臺
由于方阻探頭采用上下兩個探頭，因此采用探頭固定，晶圓平移及旋轉(zhuǎn)的方式，來進(jìn)行多點的面測試
4) 厚度探頭（選配，可采用手動輸入已知厚度的方式）
量程（200um - 1000um），主要用于將方阻探頭數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為電阻率
5) OCR晶圓ID識別（選配）
自動識別Wafer編碼信息
二、主要技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 探頭 | 說明 | |
組成 | 方阻探頭（中） （高） | 方法：非接觸式渦流法（兩組） 范圍：0.1 - 100Ω*cm（Tk≈750um） 重復(fù)性：<1% 示值誤差：<±3% 單點測量時間：< 1秒 去邊：7mm | 型號：ER-PN-1000 (九域半導(dǎo)體科技) |
PN探頭 | 方法：非接觸式SPV法 單點測量時間：< 1秒 誤判斷 < 0.02% | ||
測試平臺 | 軟件控制啟動，自動移動至探頭待測位置，設(shè)備自動測量 | ||
厚度探頭 (選配） | 方法：電容法 范圍：200um - 1000um 重復(fù)性： <1% 示值誤差：<±5um 單點測量時間：< 1秒 | ||
OCR （選配） | 廠商：美國 COGNEX 型號：IN-SIGHT 1740系列晶圓讀碼器 | ||
主機(jī) | DELL（windows 10）+23寸顯示屏 專用數(shù)據(jù)分析軟件（記錄、質(zhì)控、Mapping） 可接入MES系統(tǒng) | ||
測量過程 | 1、 放置Wafer至樣品臺 2、 軟件設(shè)置測量點位 3、軟件控制啟動，自動移動至探頭待測位置，設(shè)備自動測量 4、數(shù)據(jù)（包括PN 和 方阻、厚度、電阻率）、記錄、質(zhì)控、輸出文件等 5、根據(jù)客戶需求可定制MES系統(tǒng) | ||
Wafer信息 | 尺寸：4”-12” 厚度：典型范圍：200um-1000um | ||
碎片率 | <1/10000（有暗裂等機(jī)臺外部因素引起的碎片除外） | ||
月平均時間 | 平均時間>685H（30天計算） | ||
額定功率 | 36W（數(shù)據(jù)分析模組） + 250W(電腦） | ||
產(chǎn)能 | 每片晶片測試37個點，用時60s（不包括換片操作時間） | ||
環(huán)境溫度 | 23 ±5°C | ||
電源要求 | 額定電壓（220±22）VAC 頻率（50±1）Hz | ||
提供標(biāo)樣 | 標(biāo)準(zhǔn)片：1片（4寸），電阻率范圍1Ω*cm - 10Ω*cm | ||
驗收判定 | n 測試條件：設(shè)備正常運行后，不低于10片的Wafer進(jìn)行測試 n 設(shè)備性能：滿足上述量程內(nèi)重復(fù)性及準(zhǔn)確性標(biāo)準(zhǔn) | ||
三、 軟件功能
3.1系統(tǒng)預(yù)裝正版Windows 10專業(yè)版操作系統(tǒng)
3.2設(shè)備安裝自主產(chǎn)權(quán)測試應(yīng)用軟件
3.3測試方塊電阻，電導(dǎo)，電阻率（須輸入厚度數(shù)據(jù)）
3.4軟件具備SPC統(tǒng)計功能
3.5可輸入并保存設(shè)備編號，批次號，樣品號，操作員號
3.6可生成PDF版測試報告，報告包含SPC統(tǒng)計數(shù)據(jù)以及掃描圖
3.7可調(diào)用/新建測試菜單
3.8用戶可設(shè)定測試上限，下限值
3.9可記錄樣品測試開始時間，結(jié)束時間
3.10所有測試信息至少保留1個月以上
四、儀器使用環(huán)境
l 環(huán)境溫度：23 ±5°C
l 環(huán)境濕度：（65±20）%RH
l 電源要求：額定電壓（220±22）VAC 頻率（50±1）Hz
五、安裝與驗收
1) 物流運輸；
2) 儀器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最遲甲方簽收儀器后5個工作日），上門為甲方安裝通電并協(xié)助甲方驗收；
3) 驗收標(biāo)準(zhǔn)：以本協(xié)議第2項技術(shù)參數(shù)中的“驗收判定”內(nèi)容實施現(xiàn)場驗收；
4) 驗收合格后甲方為乙方簽字確認(rèn)。
六、技術(shù)支持與培訓(xùn)
1) 乙方提供7*12h在線技術(shù)支持，2小時內(nèi)回饋；
2) 乙方負(fù)責(zé)在驗收過程中對甲方技術(shù)人員現(xiàn)場技術(shù)培訓(xùn)；
3) 在質(zhì)保期內(nèi)，乙方為甲方提供全套免費技術(shù)服務(wù)，不限于更換備件等；質(zhì)保期后，若非人為損壞儀器的維修服務(wù)，乙方只收取硬件成本費用；
4) 乙方免費協(xié)助甲方將儀器數(shù)據(jù)對接至甲方MES系統(tǒng)，若需增加硬件則無需甲方承擔(dān)費用。
七、質(zhì)保期
本儀器，乙方提供自驗收之日起1年質(zhì)保；
八、發(fā)貨備件清單
序號 | 名稱 | 數(shù)量 |
1 | 測試儀 | 1臺 |
2 | 電源線 | 1條 |
3 | 電腦(Windows正版、數(shù)據(jù)GHOST備份) | 1臺 |
4 | 通訊線 | 1條 |
5 | Windows 10專業(yè)版操作系統(tǒng) | 1 |
6 | 專用測試軟件 | 1 |
7 | 說明書 | 1本 |
8 | 出廠合格證 | 1個 |
