TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝
- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統(tǒng)
技術(shù)特點(diǎn)
- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)
- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控
- 噪聲和振動(dòng)低
- 任意方向安裝
- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級耐壓
- 智能電源控制系統(tǒng)
- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護(hù)
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級耐壓高
- 同類中重量較輕，尺寸較小
- 耐粉塵
- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統(tǒng)
更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
技術(shù)特點(diǎn)
- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)
- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控
- 噪聲和振動(dòng)低
- 任意方向安裝
- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級耐壓
- 智能電源控制系統(tǒng)
- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護(hù)
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級耐壓高
- 同類中重量輕，尺寸小
- 耐粉塵
- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統(tǒng)
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典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝
- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統(tǒng)
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技術(shù)參數(shù) | TURBOVAC MAG | |||||||||
W 830 | W 830 C | W 1300 | W 1300 C | |||||||
進(jìn)氣口法蘭 | DN | 160 CF | 160 ISO-F | 200 CF | 200 ISO-F | 250 ISO-F | ||||
抽速 | ||||||||||
氮?dú)? | I x s-1 | 900 | 700 | 1170 | 1100 | 1220 | ||||
氬氣 | I x s-1 | 750 | 650 | 1100 | 1050 | 1180 | ||||
氦氣 | I x s-1 | 900 | 500 | 1150 | 1100 | 1200 | ||||
氫氣 | I x s-1 | 740 | 350 | 920 | 920 | 1020 | ||||
轉(zhuǎn)速 | min-1 | 36 000 | 24 000 | 36 000 | 36 000 | 36 000 | ||||
壓縮比 | ||||||||||
氮?dú)? | 1 5 x 108 | > 5 x 107 | 1 5 x 108 | > 108 | > 108 | |||||
DIN 28 400的極限壓強(qiáng) | ||||||||||
mbar | < 1 x 10-10 | < 10-8 | < 1 x 10-10 | < 10-8 | < 10-8 | |||||
(Torr) | (< 0 75 x 10-10) | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-10) | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-8) | |||||
前級耐壓，氮?dú)?/span> | ||||||||||
對流冷卻 水冷卻 | mbar (Torr)mbar (Torr) | 0 2 (0 15) 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | 0 2 (0 15) 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | ||||
推薦的前級泵 | ||||||||||
旋片泵 | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | TRIVAC | |||||
或抽速達(dá)100 m3/h的干壓縮泵 | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | D 65 BCS | |||||
加速時(shí)間 | min | < 6 | < 4 | < 6 | < 6 | < 6 | ||||
前級管道法蘭 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | ||||
保護(hù)氣/破空端口 | DN | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | 10 ISO-KF/ 16 ISO-KF | ||||
水冷接口尺寸 | ||||||||||
(管子外徑) | mm (in ) | 1/4" | 1/4" | 1/4" | 6 | 6 | ||||
重量 | kg (lbs) | 35 (77 3) | 32 (70 6) | 35 (77 3) | 32 (70 6) | 32 (70 6) | ||||
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