儀器適用范圍：
伴隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，我國半導體圓晶生產已從較小的尺寸發(fā)展到現在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應大芯片檢測而開發(fā)的新產品。MA3000配備反射照明光學系統(tǒng)，反射式暗場和偏光系統(tǒng)，使它可用在相同尺寸的半導體掩模板，液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗場合。
儀器特性：
- l 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺
- l 視場數∮22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
- l 落射光明場、暗場及偏光可快速轉換
- l 機架經計算機《有限元》分析處理，有高穩(wěn)定性及抗振性
- l 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導軌，使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性
- l 采用人機工程學的設計理念，調焦手輪前置，使之操作舒適。
高質量的光學系統(tǒng)，確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質量。
無限遠校正像差長距平場消色差物鏡
MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數 22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質量。物鏡的超長工作距離，可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡
在反射照明光路中，明場、暗場和偏光可快速轉換
MA3000配有明場和暗場共用的物鏡，只要拉動拉桿，即可明場暗場轉換；只需插入或拉出起偏器和檢偏器，即可偏光轉換，操作十分方便。
采用完善的柯拉照明系統(tǒng)
MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng)，在整個視場內照明均勻。
MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡配套表
| | MA3000 | MA3020 | 附 注 | |
| 1 | 反射式工業(yè)檢驗顯微鏡主機 | ● | | 反射式,手動轉換器,偏光附件 |
| 2 | 透反射式工業(yè)檢驗顯微鏡主機 | | ● | 透反射式,手動轉換器,偏光附件 |
| 3 | 載物臺 | ● | ● | 200X200行程,有快速離合裝置 |
| 4 | 玻璃載物板 | ● | ● | 200X200 |
| 5 | 燈箱組 | ● | ●● | 12V50W反射光用光源 |
| 6 | 30°傾斜雙目組 | ● | ● | |
| 7 | 五孔手動轉換器 | ● | ● | 兩只裝暗場物鏡的大孔,三個裝明場物鏡的小孔 |
| 8 | 4×長距平場物鏡 | ● | ● | LPL 4X/0.10 ∞ 工作距離 27.236mm |
| 9 | 10×長距平場物鏡 | ● | ● | LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm |
| 10 | 20×長距平場物鏡 | ● | ● | LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm |
| 11 | 40×長距平場物鏡 | ● | ● | LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm |
| 12 | 50×長距平場物鏡 | ● | ● | LPL 50X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm |
| 13 | 80×長距平場物鏡 | ● | ● | LPL 80X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm |
| 14 | 10X長距平場暗場物鏡 | ● | ● | D LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm |
| 15 | 20X長距平場暗場物鏡 | ● | ● | D LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm |
| 16 | 40X長距平場暗場物鏡 | ● | ● | D LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm |
| 17 | 50X長距平場暗場物鏡 | ● | ● | D LPL 40X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm |
| 18 | 80X長距平場暗場物鏡 | ● | ● | D LPL 40X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm |
| 19 | 4X平場物鏡 | | ● | PL 4X/0.10 ∞/0.17 |
| 20 | 10X平場物鏡 | | ● | PL 10X/0.25 ∞/0.17 |
| 21 | 20X平場物鏡 | | ● | PL 20X/0.66 ∞/0.17 |
| 22 | 40X平場物鏡 | | ● | PL 4X/0.10 ∞/0.17 |
| 23 | 100X平場物鏡 | | ● | PL 100X/1.25oil ∞/0.17 |
| 24 | 10×大視野目鏡 | ●● | ●● | WF10×-22 |
| 25 | 16×大視野目鏡 | ○○ | ○○ | WF16×-16 |
| 26 | 黃、綠、蘭、中性濾色片 | ● | ● | 各一 |
| 27 | 毛玻璃片 | ● | ● | |
| 28 | 35mm攝影接筒 | ● | ● | |
| 29 | 2.5X攝影負目鏡 | ● | ● | |
| 30 | CCD攝像機接頭 | ● | ● | 顯微鏡與DV02或視頻攝像機聯接用 |
注：●為件，○為可選件。
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