優(yōu)勢(shì)特點(diǎn):
Ø 經(jīng)濟(jì)實(shí)用
Ø 純中文操作界面,具有一鍵成像功能
Ø 自動(dòng)調(diào)整功能:電子槍加熱、偏壓、對(duì)中、聚焦、亮度、對(duì)比度、消像散、像散記憶等
Ø 自動(dòng)校正、自動(dòng)故障檢測(cè)
Ø 低維護(hù)、維修成本
項(xiàng)目 | EM6200 | EM6200Z | |
分辨率 | SE:4.5nm (30KV);BSE:6.0nm (30KV) | ||
放大倍數(shù) | 底片放大:15X ~ 250,000X 屏幕放大:30X ~ 500000X | ||
電子槍類型 | 翻開式發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢燈陰極 | ||
加速電壓 | 0 ~ 30KV | ||
透鏡系統(tǒng) | 三級(jí)電磁透鏡(錐形物鏡) | ||
物鏡光闌 | 三個(gè)光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) | ||
樣品臺(tái) | 手動(dòng) | X/Y軸自動(dòng) | |
行程 | X | 0 ~ 50mm | |
Y | 0 ~ 50mm | ||
Z | 0 ~ 25mm | ||
R | 360° | ||
T | -5° ~ 90° | ||
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器,背散射電子探測(cè)器(可選),X-ray能譜儀(可選) | ||
真空系統(tǒng) | 分子泵 |