商品詳情
Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精度達±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計，它能準確測量介質，不受應用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件，適用于苛刻的半導體和工業(yè)真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點，使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對半導體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質具有非常高的耐受性。
Inconel®材料結合全焊接結構， 確保730型在這類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同，730型測量直接壓力， 不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。
應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體**器
·真空包裝
