Nexview非接觸式zygo輪廓儀可以用來測量所有表面,一一超光滑到非常粗糙的表面
Nexview都可以以30非接觸的方式,以亞納米的精度,以不同的視場范圍檢測樣品表面的平面度 Flatness),粗度( (roughness.合階高度( step height),膜層厚度(fims)坡度{ slope)等等參數(shù),也可以對樣品表面的微觀結(jié)構(gòu),缺陷等等作詳細(xì)的局部區(qū)域分析segment).測試的縱向范圍從immー直到20n適用于所有的樣品,從超光滑到粗糙,包括在結(jié)構(gòu)上的斜坡,臺階及膜層,都可以
使用 netview以非接觸的方式測量,可以按全新的S025178標(biāo)準(zhǔn),以3D形式,計算粗楹度結(jié)果
使用全新一代軟件.清晰詳盡的輸出窗口,更合理的布局.簡單易懂的軟件界面在硬件和軟件上都整合了在震動環(huán)境下測量的抗振功能擁有強(qiáng)大的后期數(shù)據(jù)圖像分析功能,可以作圖像
局部統(tǒng)計分析,可以使用 Zygo Visionpro工
具作智能化圖像分析