器件教學(xué)套件和工藝教學(xué)套件為用戶提供了一個學(xué)習(xí)7nm工業(yè)級“數(shù)據(jù)”的機(jī)會,而在當(dāng)前高校教育中,還有一個問題,就是需要學(xué)生熟悉真實的工業(yè)“場景”,場景+數(shù)據(jù)的模式,讓同學(xué)能夠“知其然,知其所以然”,為此,我們建立了一個7nm集成電路虛擬現(xiàn)實(VR)實驗室,重現(xiàn)真實的工業(yè)“場景”
該套件包含如下內(nèi)容
1.工業(yè)級*集成電路制造設(shè)備:如300毫米(12英寸)半自動探針臺、EUV光刻機(jī)等。
2.工業(yè)級*設(shè)備使用過程模擬:包括裝晶圓、扎探針、工藝線操作、封裝線操作等操作過程。
3.*工藝線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個真實的工藝線中。
4.*封裝線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個真實的快封線中。
5.*測試線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個真實的測試線中。