大掃描范圍:400mm x 400mm;(常 規(guī)機(jī)器一般約是300mm x 300mm)
磁懸浮超高速機(jī)型,掃描速度:2米/秒; 掃描加速度:30米/秒2,KSI一臺(tái)機(jī)器相 當(dāng)于常規(guī)機(jī)器2臺(tái)的工作量。(常規(guī)機(jī)器小 于1米/秒)
高掃描重復(fù)精度:+/-0.1微米(常規(guī)機(jī)器 只能做到0.5微米)
低噪防誤判探頭(常規(guī)機(jī)器沒有, 無法在高速掃描時(shí)去除水花導(dǎo)致的誤判)
1.電子和聲學(xué)顯微系統(tǒng)單元
⑴放大倍率:625倍
⑵探頭頻率:5MHz~400MHz可選
⑶探頭焦距:2mm ~ 50mm 可選
⑷模數(shù)轉(zhuǎn)換AD卡 1GHz
⑸聲學(xué)信號(hào)激發(fā)和接收裝置帶寬:5MHZ ~ 555MHz
⑹圖像顯示器24英寸2個(gè)
⑺圖像格式:BMP、JPG、sam原廠格式
⑻圖像分辨率:3.2萬像素 x 3.2萬像素
2.機(jī)械掃描單元
⑴X/Y/Z軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)是直線磁懸浮電機(jī)
⑵X軸和Y軸的掃描速度:2000mm/s,加速度是30米/平方秒
⑶掃描范圍:400mm x 400mm
⑷X軸和Y軸的精度:+/-0.1微米
⑸Z軸是自鎖步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
⑹Z軸調(diào)焦行程:100mm
⑺檢件臺(tái):標(biāo)準(zhǔn)、托盤、真空吸附、定制等可選
⑻樣品槽:580mm x 780mm x 110mm (W x D x H)
3.軟件單元:
⑴主控軟件:Ksi Vision
⑵掃描模式:A-、B-、C-、D-、G-、P-、Tray-、X-、Z-、3D-
⑶眾多可選配置:透射模組/三維圖像分析軟件/濾波器等