產(chǎn)品簡介
Nordson DAGE的X射線檢測系統(tǒng)專為PCB和半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計,并且采用了符合人體工程學(xué)的設(shè)計,可提供高分辨率納米級焦距X射線系統(tǒng),不僅可用于故障分析實驗室,也可用于生產(chǎn)環(huán)境。
無二的DAGE NT密封傳送型X射線管是DAGE NT X射線檢測系統(tǒng)的核心部件。其取代了早期系統(tǒng)中使用的閉合式管和開放式管,性能得到了很大的提升。只有采用密封傳送型射線管才能切實提高X射線圖像的分辨率,同時還能提供大功率,而不影響分辨率和放大率。
Quadra系列X射線檢測儀擁有超越了光學(xué)成像的成像效果,能夠無損地檢查設(shè)備和組件內(nèi)部的模糊區(qū)域,高性能X射線管和探測器,可識別100納米以下的特征,放大倍數(shù)可達(dá)68000倍。
產(chǎn)品特性
六硼化鑭(LaB6)發(fā)射源
分辨到產(chǎn)品100nm細(xì)節(jié)處的功能,可以確保圖像明亮、清晰和穩(wěn)定
Aspire FP 探測器可以以30fps捕獲6.7MP的圖像
兩個4K UHD 顯示器
無油離子泵真空設(shè)計,無需換油
產(chǎn)品應(yīng)用
失效分析
晶圓測試
規(guī)格參數(shù)
Quadra3 | Quadra5 | Quadra7 | |
X-Ray Tube | Quadra NT filament free transmissive | ||
Feature recognition | 0.95μm | 0.35μm 0.95μm above 10W | 0.10μm 0.30μm above 10W |
Tube target power | 10W | 10W(20W Optional) | 20W |
Voltage | 30-160kV | ||
Detector | AspireFP Flat Pannel Detector | ||
Resolution | 1.4 MP | 3 MP | 6.7MP |
Frame rate | 10 fps | 25 fps | 30 fps |
Digital image processing | 16 bit | ||
Inspection area | 510 x 445 mm (20 x 17.5”) | ||
Anti-vibration | Passive | AXiS - Active X-ray Image Stabilization | |
Geometric magnification | Up to x 2,000 | Up to x 2,500 | |
Total magnification | Up to x 7,500 | Up to x 45,000 | Up to x 68,000 |
Display | 24”WUXGA 1920 x 1200 | 24” WUXGA 1920 x 1200 | Twin 24”4K UHD 3840 x 2160 |