TM3030日立臺(tái)式掃描電鏡標(biāo)配的4分割背散射探測(cè)器,可采集來自四個(gè)不同方向的圖像信息,可以有四種成像模式。標(biāo)配大樣品艙,可容納樣品直徑70mm,厚度50mm。
日立高新在2005年4月推出了代臺(tái)式顯微鏡,迄今為止,TM1000、TM3000、TM3030、 TM3030Plus一起出廠臺(tái)數(shù)已經(jīng)有2900臺(tái)。
TM3030日立臺(tái)式掃描電鏡的低真空顯微鏡功能使得樣品不需任何處理即可快速進(jìn)行觀察。緊湊型設(shè)計(jì)意味著TM3030可以在辦公室和其他地方方便地安裝和操作。通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),TM3030還提供了“5kV mode”,使得樣品表面結(jié)構(gòu)得到觀察,并且觀察不需要在高加速電壓下進(jìn)行。
項(xiàng)目 | TM3030 | TM3030Plus |
觀察條件 | 5KV:3級(jí) | |
(Low Mag. /Mid. Mag. /High Mag.) | ||
15KV | ||
15KV(Higher current) | ||
放大倍數(shù) | 15X to 60,000X(數(shù)碼連續(xù)放大:x2,x4) | |
探測(cè)器 | 背散射電子探測(cè)器 | 背散射電子探測(cè)器,二次電子探測(cè)器 |
信號(hào) | BSE | BSE |
SE | ||
合成(BSE+SE) | ||
觀察模式(真空度) | 標(biāo)準(zhǔn)模式(3-5Pa) | 導(dǎo)體(3-5Pa)(BSE only) |
消除核電模式(50Pa) | 標(biāo)準(zhǔn)模式(30Pa) | |
消除核電模式(50Pa) | ||
樣品尺寸 | 70mm(徑)X 50(高) | |
PC(OS) | Windows 7(32/64 bit) | Windows 7(64 bit) |
重量(主機(jī)) | 63kg(手動(dòng)臺(tái)) | 65kg(手動(dòng)臺(tái)) |
66kg(馬達(dá)臺(tái)) | 68kg(馬達(dá)臺(tái)) | |
自選附件 | EDX(Quantax70,SwiftED3000,3D View software)冷臺(tái),傾斜&旋轉(zhuǎn)臺(tái) |