主要功能
根據(jù)客戶的需求提供5種型號
安裝和移機操作方便，安裝（30分鐘之內(nèi)完成），安裝空間小
短時間內(nèi)獲取高分辨率圖像，真空抽取時間3分鐘以內(nèi)，卸載時間1分鐘以內(nèi)
所有型號都可搭載 EDS成分分析系統(tǒng)
維護管理費用低，已經(jīng)系統(tǒng)管理
性能規(guī)格
| 性能規(guī)格 | |||||
| Model | SNE-4500M Plus(A) | SNE-4500M Plus(B) | SNE-4500M | SNE-3000MS | SNE-3200M |
| 分辨率 | 5nm | 15nm | |||
| 倍率 | 150,000x | 100,000x | 60,000x | ||
| 接收器 | SE | SE/BSE | SE | SE/BSE | |
| 真空度 | High | High/Low | High | High/Low | |
| 操作軸 | X, Y, R,Z,T: Fully Motorized | X,Y,R,Z,T: Manual | X,Y,R: Manual | ||
| 規(guī)格 | |||||
| 操作軸 | X, Y: 40mm Z: 0 ~ 40mm R : 360° T: -45 - 90° | X,Y :40mm R: 360° T:0-45° Z: 0-35mm | X, Y:35mm R : 360° | ||
| 樣品尺寸 | 80mm(D) / 50mm(H) | 80mm(D) / 35mm(H) | 70mm(D) / 30mm(H) | ||
| 相機 | Top-View Camera | - | - | ||
| 可變光柵 | 30,50,50,100|im(Variable Type) | 200nm(Single) | |||
| 電子束類型 | Pre-centered Tungsten Filament Cartridge | ||||
| 加速電壓 | lkV ~ 30kV (1/ 5/ 10/15/ 20/ 30) - 6 Step | ||||
| 顯示模式 | 320 x 240 / 640 x 480 / 1,280 x 960 / 2,560 x 1,920 / 5,120 x 3,840 | ||||
| 自動功能 | Start, Focus, Stigmator, Contrast & Brightness | ||||
| 圖像樣式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | ||||
| 真空泵 | Rotary + Turbo Molecular Pump (Fully Automation System) | ||||
應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體/電子/汽車：高分子材料，顯示技術(shù)、納米技術(shù)，硅片，封裝，pattern PCB,OLEDl應(yīng)用
金屬/材料：金屬類，陶意類，制藥，纖維，納米管，電池
生物/食品：動植物，生物細菌，化妝品
環(huán)境、能源、教育、醫(yī)療
