一、 簡(jiǎn)介
J.A.Woollam公司于1987年由Woollam教授等創(chuàng)辦。公司是由內(nèi)布拉斯加州立大學(xué)的科研成果為基礎(chǔ)衍生而來(lái)的專業(yè)生產(chǎn)光譜型橢圓偏振測(cè)量?jī)x的廠商,公司研發(fā)、生產(chǎn)多種不同規(guī)格型號(hào)的橢偏儀。
J.A.Woollam公司擁有超過(guò)100項(xiàng)的橢偏patent技術(shù),確保公司的技術(shù)處于地位。已有2000多套橢偏儀已被安裝到世界各地,廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)當(dāng)中。RC2是J.A.Woollam公司的的光譜橢偏儀產(chǎn)品。采用雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償技術(shù),可測(cè)量穆勒矩陣的全部16個(gè)單元。
二、 技術(shù)特點(diǎn)
設(shè)備特點(diǎn):采用雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器,高精度快速測(cè)量。
采用消色散的補(bǔ)償器,性能更優(yōu)化。
*的光源,計(jì)算機(jī)可控輸出光強(qiáng)。
*的光束對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),數(shù)據(jù)測(cè)量更準(zhǔn)確。
波長(zhǎng)范圍: 193-1690nm(超過(guò)1000個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn))
變角范圍: 45°-90°(水平樣品臺(tái))
20°-90°(垂直樣品臺(tái))
測(cè)量速度:典型數(shù)據(jù)全光譜測(cè)量不超過(guò)1秒。
自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:8/12寸多種樣品臺(tái)可選
三、 應(yīng)用
單層膜或多層膜疊加、單一膜層及液態(tài)膜層,測(cè)量薄膜厚度、反射率和透射率、折射率等光學(xué)常數(shù)。
半導(dǎo)體薄膜:光刻膠、工藝薄膜、介電材料
液晶顯示:OLED、氧化層厚度、ITO
光學(xué)鍍膜:硬涂層厚度、減反涂層
高分子薄膜:PI、PC