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簡介
MSP系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司,其可以實現(xiàn)微小區(qū)域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量,為人們針對薄膜微小區(qū)域進行分析提供了便利。
基本功能 | 1,針對微小區(qū)域測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)的測量 |
產(chǎn)品特點 | l 強大的數(shù)據(jù)運算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫; |
系統(tǒng)配置 | 型號:MSP100RTM |
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規(guī)格參數(shù)
波長范圍:250nm到1000 nm
波長分辨率: 1nm
光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸:zui多可至20mm厚
測量厚度范圍: 20? 到25 μm
測量時間:zui快2毫秒
精度*:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
重復性誤差*:小于2 ?
應用系統(tǒng)
主要應用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:
1 玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)
2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)
3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)
4 醫(yī)學,生物薄膜及材料領(lǐng)域等
5 油墨,礦物學,顏料,調(diào)色劑等
6 醫(yī)藥,中間設(shè)備
7 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半導體化合物
9 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
l0 非晶體,納米材料和結(jié)晶硅