產(chǎn)品用途:
BX-G103系列是針對(duì)新穎研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的型多入射角激光橢偏儀。 BX-G103系列可在單入射角度或多入射角度下對(duì)樣品進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量??捎糜跍y(cè)量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k;也可用于同時(shí)測(cè)量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;亦可用于實(shí)時(shí)測(cè)量納米薄膜動(dòng)態(tài)生長(zhǎng)中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了納米薄膜的正規(guī)厚度測(cè)量。
儀器特點(diǎn):
l 新穎的測(cè)量方法:Delta測(cè)量范圍0-360o,無測(cè)量死角問題(即使在0o或180o附近時(shí)也具有的準(zhǔn)確度),也可消除粗糙表面引起的消偏振效應(yīng)對(duì)結(jié)果的影響
l 原子層量級(jí)的靈敏度和準(zhǔn)確度:新穎的采樣方法、高穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性
l 百毫秒量級(jí)的快速測(cè)量:在保證精度和準(zhǔn)確度的同時(shí),可在幾百毫秒內(nèi)快速完成一次測(cè)量,可滿足快速多點(diǎn)檢測(cè)和批量檢測(cè)需求
l 準(zhǔn)確方便的樣品對(duì)準(zhǔn):視頻式自準(zhǔn)直樣品方位精密對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),精度高、操作方便
l 簡(jiǎn)單方便的儀器操作:一鍵操作即可完成復(fù)雜的樣品測(cè)量和分析;按照質(zhì)控要求進(jìn)行數(shù)據(jù)多種導(dǎo)出;豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)方便用戶的操作;管理員/操作員不同的模式,保證儀器安全
技術(shù)參數(shù):