氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制；氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter，以下簡稱MFM）可對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。本產(chǎn)品應用的行業(yè)主要有：化學工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設備主要有：真空鍍膜設備、混氣配氣設備、光纖熔煉設備、晶體制備設備、微電子設備、微反應裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。
特點：
★ 穩(wěn)定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高
★安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單
★可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計算機使用
技術參數(shù)：
基本型號 | C51 氣體質(zhì)量流量控制器 | C51M 氣體質(zhì)量流量計 |
流量規(guī)格1(N2標定) | 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM | |
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM | ||
調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2～100)％F.S. 或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
準確度 | ±1％F.S. (≤15SLM) | |
±2％F.S. (＞15SLM) | ||
線性 | ±0.5％F.S. (≤15SLM) | |
±2％F.S. (＞15SLM) | ||
重復精度 | ±0.2％F.S. | |
響應時間 | ≤1sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa (≤10SLM) | 0.02MPa～3MPa |
0.1～0.3MPa (＞10SLM) | ||
耐壓 | 3MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 4～20mA或0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA) | 4～20mA或0～+5.00V (無輸入信號，輸出電流不大于3mA) |
供電電源要求 | +24VDC(≥300mA) | +24VDC(≥150mA) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, | |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4” | |
雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm | ||
外形尺寸 | 長×寬×高：127×30×122 mm | |
凈重量 | 0.9kg | 0.75kg |
