氣體質(zhì)量流量控制器/流量計SENSUN：熱式氣體質(zhì)量流量控制器在各種等離子設(shè)備中廣泛使用，松盛測控生產(chǎn)和銷售的熱式氣體質(zhì)量流量計的主要作用是準確的控制和調(diào)節(jié)氣體的進氣流量，等離子設(shè)備中需要注入和填充的混合氣體，以保證更好的產(chǎn)品性能，就需要更高精度和穩(wěn)定性好的流量控制器。
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計SENSUN：熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計的優(yōu)點很多，舉幾個常接觸到的例子：1.對于大多數(shù)的流量測控系統(tǒng)和普通流量計而言，壓力、環(huán)境、溫度的波動以及介質(zhì)的變化將導(dǎo)致較大的誤差；而對于質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計，則一般可以忽略不計。2.熱式氣體質(zhì)量流量控制器可以對于不同介質(zhì)精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量比例控制等特別有用。3.質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計也有很寬的工作壓力范圍。
推出的流量控制器和流量計可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)，如常規(guī)氣體氫氣、氧氣氮氣等，稀有氣體氦氣、氬氣等，也包括一些腐蝕性氣體等；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品最小流量范圍可達0～5 sccm，流量范圍可達1500 slm。流量精度可達滿量程的±1.0%, 流量控制范圍是滿量程的2~ (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
