TOYOKOKAGAKU東橫化學(xué)清洗機(jī)M300

TOYOKOKAGAKU東橫化學(xué)清洗機(jī)M300

SiC功率器件熱處理設(shè)備Ailesic-2000,Ailesic-1400,Ailesic-1500,Ailesic-1700,Ailesic-X

清洗機(jī)M300,M800；ALD設(shè)備SAL1000

活化退火設(shè)備Ailesic-2000特征：

支持2000°C的SiC激活退火。

新開(kāi)發(fā)的加熱技術(shù)實(shí)現(xiàn)了超快速加熱和冷卻特性。

滿足客戶對(duì)小批量短時(shí)間處理的需求。

通過(guò)相同的加熱技術(shù)和高精度溫度控制技術(shù)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工藝性能，有助于穩(wěn)定生產(chǎn)。

從開(kāi)發(fā)到6英寸高產(chǎn)能量產(chǎn)的豐富陣容。

在大規(guī)模生產(chǎn)工廠中的良好運(yùn)營(yíng)記錄。

應(yīng)用：活化退火。

CMP漿料供應(yīng)系統(tǒng)的特點(diǎn)：

并聯(lián)供電系統(tǒng)穩(wěn)定供電。通過(guò)觸摸屏輕松操作。

高精度復(fù)合（可從多種復(fù)合方式中選擇復(fù)合方式。）。

自動(dòng)沖洗功能。透明內(nèi)膽，內(nèi)部狀態(tài)一目了然。

化學(xué)恒流量控制裝置概述：

化學(xué)恒流控制裝置主要用于CMP漿料的供給，也可用于純水、氫氟酸等多種化學(xué)物質(zhì)的混合。

與傳統(tǒng)的使用稱(chēng)量罐和混合罐的批量式供應(yīng)設(shè)備相比，該機(jī)組具有：

1. 在線混合限度地減少化學(xué)品消耗

2. 批量供應(yīng)設(shè)備無(wú)需清洗罐

3. 設(shè)備尺寸可以減小

M300是一款半自動(dòng)FOUP/carrier 清洗機(jī)，結(jié)構(gòu)緊湊，可一次處理大量工件。可處理晶圓載具、SMIF POD、各種傳送箱、300mm用FOUP、FOSB、RSP及各種工件。這是一種批量處理型清潔/干燥設(shè)備，其中工件被設(shè)置在安裝在腔室內(nèi)被稱(chēng)為柱的架狀框架上的插入物中，然后在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行清潔和干燥。刀片的形狀因工件而異，只需輕輕一按即可更換，因此可輕松切換對(duì)象工件。

特征：高容量/小占地面積。

超凈噴霧系統(tǒng)。擁有成本低。

用于干燥的紅外線加熱器系統(tǒng)。

通過(guò)一鍵式更換刀片支持各種工件。

SAL1000 ALD設(shè)備是一款可安裝在桌面上的緊湊型研發(fā)設(shè)備。

內(nèi)置兩種前驅(qū)體，沉積性能在φ100以內(nèi)±3%（AlO3）以內(nèi)。

此外，通過(guò)使設(shè)備更緊湊，我們減少了零件數(shù)量。

特征：

沉積過(guò)程可以在前觸摸屏上設(shè)置，壓力和操作狀態(tài)可以檢查。

從抽真空到成膜的設(shè)定過(guò)程自動(dòng)進(jìn)行，成膜完成后，按下排氣按鈕即可取出基板。

配備2個(gè)前驅(qū)體系統(tǒng)，兼容基板高達(dá)φ4"。