產(chǎn)品型號：ME2

技術(shù)原理：質(zhì)量抽?。ㄎ⒘髁繖z測技術(shù)）

技術(shù)特性：

1）分子滑動黏性流真空壓力范圍：0.5 - 10 torr

2）微流量傳感器 IL2-M ：校準(zhǔn)壓力在2Psia，泄漏率1×10-4 sccs（相當(dāng)于3um的泄漏孔徑）

3）高真空微流量傳感器: IMFS：校準(zhǔn)壓力在0.01-0.2psia 泄漏率7×10-7sccs （相當(dāng)于0.2um的泄漏孔徑）

技術(shù)軟件：

CFR211測試軟件：由ATC基于微軟系統(tǒng)開發(fā)的應(yīng)用軟件，即Leak-Rx軟件。符合FDA CFR211 Part 11法規(guī)要求。該軟件主要用于數(shù)據(jù)采集、記錄、分析，記錄，以及保證數(shù)據(jù)的完整性，安全性，用來追蹤用戶對該系統(tǒng)的操作.

具體操作：包含三級權(quán)限賬戶設(shè)置

1）審計追蹤：追蹤用戶并記錄用戶的操作時間及參數(shù)的設(shè)定與更改，審計追蹤生成器可直觀易操作根據(jù)用戶的設(shè)定的參數(shù)類型，時間，生產(chǎn)批次號，用戶號等快速查詢.

2）數(shù)據(jù)完整性：如果有數(shù)據(jù)更改或者變更軟件會提示警告用戶保證數(shù)據(jù)文件的有效性.

校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件：

自檢孔：玻璃或者藍(lán)寶石自檢孔含：1.過濾器2.一份標(biāo)定證書，可追溯性，符合美國機(jī)國際技術(shù)標(biāo)準(zhǔn).

3）自適應(yīng)測試功能：

ATC特殊的測試技術(shù)，可以讓智能微流量傳感器學(xué)習(xí)測試曲線。依據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)的動態(tài)來判定被測試產(chǎn)品是否符合標(biāo)準(zhǔn)。

智能微流量傳感器是通過一組測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計，來實(shí)時判定試驗(yàn)合格與否的一種自適應(yīng)方法。自適應(yīng)測試能在測試結(jié)束之前根據(jù)事實(shí)情況來判斷被測試樣合格與否，然后確定是否有必要繼續(xù)進(jìn)行試驗(yàn)，這個特點(diǎn)能有效縮短測試周期，減少25-40%的測試時間來提高效率.