生產(chǎn)廠商:德國(guó)卡爾蔡司公司
技術(shù)指標(biāo):Sigma 500是熱場(chǎng)發(fā)射的掃描電鏡。
其分辨率為0.8nm @15kV ,1.6 nm @1kV,放大倍數(shù)10-1,000,000×,
加速電壓0.02-30 kV,探針電流4pA-20nA,低真空范圍2-133Pa,
樣品室尺寸為358 mm(φ),270.5 mm(h),樣品臺(tái)為5軸優(yōu)中心全自動(dòng)。
功能及可開設(shè)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目:可用于各種材料的微觀形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)包括:掃描電鏡的結(jié)構(gòu)、工作原理、功能與基本操作操作,材料典型組織觀察與失效分析等。
樣品要求:
1. 粉體需5mg左右;塊體長(zhǎng)寬高需小于10mm,厚度小于3mm(超出該尺寸請(qǐng)?zhí)崆奥?lián)系技術(shù)顧問確認(rèn),鑲嵌樣及多孔材料抽真空時(shí)間較長(zhǎng),尺寸盡量小一些,非特殊原因請(qǐng)務(wù)必按要求制樣,以免耽誤測(cè)試效果及周期);液態(tài)或粘稠樣品務(wù)必烘干寄樣,如電子束照射下流動(dòng)變形,則無法拍攝;
2. 關(guān)于噴金:粉末樣品建議選擇噴金形成連續(xù)金膜固定,否則容易高真空抽走;另外導(dǎo)電性差及磁性樣品為保證拍攝效果,建議噴金;
3. 拍攝截面請(qǐng)盡量提前制備截面,軟質(zhì)且較薄的材料可使用液氮脆斷,硬質(zhì)材料或厚度大的建議直接掰斷或敲斷即可,液氮脆斷不適用;納米粉末容易團(tuán)聚,請(qǐng)?zhí)崆罢f明是否超聲分散;
4. 不同設(shè)備的倍數(shù)有一定區(qū)別,為保證得到滿意的效果,請(qǐng)?zhí)峁┬蚊矃⒖紙D及能譜位置說明,如無類似參考,請(qǐng)盡量文字詳細(xì)描述需求;
5. 特別注意:若樣品有磁性(含鐵/鈷/鎳/錳元素),務(wù)注清楚;若隱瞞樣品實(shí)際信息,導(dǎo)致設(shè)備損壞,需承擔(dān)全部賠償責(zé)任;測(cè)試過程中老師會(huì)根據(jù)要求和樣品實(shí)際情況盡力拍攝,但無法保證一定拍到理想形貌;常規(guī)倍數(shù)可達(dá)5w-10w,20w倍,但實(shí)際效果和樣品性質(zhì)有關(guān),若樣品有磁性或?qū)щ娦圆睿弑断虏荒鼙WC好的效果,敬請(qǐng)理解!
測(cè)試效果案例: