1. 桌面型,性能穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)便、使用成本極低、易于維護(hù),高性?xún)r(jià)比。
2.小身材,有效處理面積大,可以輕松處理8寸硅片去膠等應(yīng)用,可以處理203mm*203mm樣品。
3.采用氣浴電極,清洗效率高。
4.靈活的電極配置方案,最多可以處理2片8寸硅片
5.對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。
1. 真空腔規(guī)格: 材質(zhì)6061-T6鋁合金 240mm*300mm*200mm
2. 電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
3. 電極尺寸:205mm *205mm
4. 頻率:13.56MHz (可選配40KHz射頻等離子源)
5. 功率:0-500W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)
6. 氣體控制:針式氣體流量閥, 60-600ml 2路氣體
7. 真空計(jì):電偶式真空計(jì),精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)