輕量機型 —— 桌面式、操作與維護簡便。采用的同步掃描結(jié)構,相比于S100機型,大幅降低整機尺寸和重量,仍能保持較高的掃描效率。
主要配置:
1、輕量化掃描機頭;
2、桌面式一體化整機;
3、全封閉防護;
4、夾具、一鍵校準、遠程協(xié)助。
應用領域
高效率—— 根據(jù)20/80原則,車間現(xiàn)場80%的批量工件僅需做常規(guī)快速抽檢,不需要做詳細分析,因此可以使用S400機型達到快速檢測。用于半導體、集成電路、低壓電器等行業(yè)的生產(chǎn)線的制程管控。適用于車間現(xiàn)場或小型理化實驗室。
產(chǎn)品參數(shù)
1、工作電源:220V/50Hz,1KW;
2、掃描范圍:200mm×100mm×100mm;
3、整機尺寸:400mm×500mm×500mm;(標配)
4、探頭頻率范圍:1~50MHz;(標配,可升級至230MHz);
5、推薦圖像分辨率:0.5um ~ 4000um;
6、典型掃描耗時:<45s (測試條件:掃描區(qū)域10mmX10mm,分辨率50um);
7、掃描速度:300mm/s;掃描加速度:5m/s2;
8、運動臺定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重復定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采樣頻率:25~250MHz;(標配,可升級至1.5GHz);
10、每通道可調(diào)增益:-13~66dB;(標配,可升級);
11、脈沖重復頻率:5kHz;(標配,可升級)。