合肥真萍電子科技有限公司是專業(yè)的從事環(huán)境與可靠性試驗設(shè)備及實驗室儀器,防潮防氧化專業(yè)設(shè)備，烘烤制程設(shè)備等產(chǎn)品專業(yè)供應(yīng)商，由一批多年從事環(huán)境試驗設(shè)備、防潮防氧化設(shè)備行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員為核心，具有設(shè)計、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。
　　

公司主要生產(chǎn)和經(jīng)營:
　　環(huán)境與可靠性試驗設(shè)備:高低溫試驗箱，恒溫恒濕箱，老化箱，快溫變化箱，霉菌試驗箱，鹽霧腐蝕試驗箱;

　　防潮防氧化專業(yè)設(shè)備:防潮箱、氮氣柜、潔凈氮氣柜、恒溫恒濕柜、氧濃度控制

柜、真空柜、環(huán)境溫濕度監(jiān)控;PP/PVC氮氣柜;

烘烤制程設(shè)備:HMDS涂膠烤箱、紅外/熱風(fēng)烘箱、電腦光刻固化無氧烤箱、充氮

烤箱、電腦式真空干燥箱、可編程潔凈多腔體烘箱、隧道烘箱、

電腦無氧烤箱、高溫烤箱、等服務(wù)。
　　

本公司自成立之初，一直秉承客戶*的服務(wù)理念，滿足客戶持續(xù)增長的需求，不斷為客戶提供品質(zhì)優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品，降低客戶的生產(chǎn)成本，提高客戶的競爭力，為客戶創(chuàng)造價值
　　

在廣大客戶的支持下，本公司的業(yè)務(wù)蒸蒸日上，在航空、航天、電子、光電、半導(dǎo)體、*、郵電、石油化工、制藥、醫(yī)療、生物工程、高等院校、科研單位等領(lǐng)域取得了良好的業(yè)績，已得到廣大客戶的認(rèn)同和稱贊。目前服務(wù)的客戶遍布沿海各省。
　　

我們將努力為客戶提供一站式服務(wù)和全面的解決方案。*解決客戶的后顧之優(yōu)，讓您安心的生產(chǎn)，將麻煩留給我們。您選擇真萍科技就是選擇放心！
　

主要服務(wù)客戶：臺積電、中芯、德州儀器、長電、BYD、 IPEC 、華東科技、蘇州晶方、合晶硅、富士通、寧波芯健、松下、三星、立立電子、中環(huán) 、萬向、尚德電力、華潤上華、華潤華晶、 *公司第8、12、15、21、41、43、58所、諾基亞、西門子、富士康、英順達(dá)、廣達(dá)、龍騰光電、INTEL、京東方、三安光電、同方、德豪潤達(dá)、福州兆元、西安聯(lián)合、西安神光、江淮、奇瑞、博物館、中科院化學(xué)所、中科院物理所、中科院光電所等各院所 * 各地方重點大學(xué)等等.

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產(chǎn)品簡介在線詢價

一、設(shè)備概述豎管爐是通過微電腦控制爐管內(nèi)的溫度，并往內(nèi)充氮氣，使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間對PI膠進(jìn)行烘烤固化的設(shè)備

全自動雙腔爐產(chǎn)品詳情

一、設(shè)備概述

豎管爐是通過微電腦控制爐管內(nèi)的溫度，并往內(nèi)充氮氣，使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間對PI膠進(jìn)行烘烤固化的設(shè)備。

二、常規(guī)參數(shù)

1. 設(shè)備外形尺寸及布局：2400mm*2200mm*2950（W*D*H）mm

三、技術(shù)要求

1.1 關(guān)鍵指標(biāo)

技術(shù)指標(biāo)	指標(biāo)要求	備注
晶圓尺寸	12"wafer
晶圓種類	Si/glass/EMC
晶圓厚度	400~1500um
晶圓翹曲度	翹曲度5mm（@900um厚度 EMC wafer）
控氧系統(tǒng) （采用氧分析儀精準(zhǔn)控制）	氧含量：≤ 50ppm;
晶圓數(shù)量	8寸單管100片（總裝片數(shù)200片），12寸75片（總裝片數(shù)：150片）
Process溫度	200~750℃，恒溫段精度±2℃
升溫速率	1~8℃/min
降溫速率	1-7℃/min
溫度均勻性	70~300℃±5℃ >300℃±3℃
溫度記錄	無紙全量程記錄
腔內(nèi)潔凈度	Class100

1.2 硬件配置

項目	技術(shù)指標(biāo)	指標(biāo)要求	備注
設(shè)備配置及功能	Load port 上料	支撐標(biāo)準(zhǔn)12” 25slots FOUP/，兩個load port
	Robot	Robot 配置single arm
		X/Y 位置重復(fù)性及穩(wěn)定性精度≤±100um
		Fork (blade)同時兼容各種wafer type
	溫控&Tube	3zone獨立控制
	溫控&Tube	升溫速率支持8℃/min
	氣體	具N₂惰性氣體導(dǎo)入裝置，附流量計及調(diào)壓閥、測壓裝置
	氣體	配置氧含量分析儀，量程：1ppm～50%vol
硬件要求	設(shè)備通訊方式	SECS/GEM，支持hot通信協(xié)議，可與廠內(nèi)系統(tǒng)互聯(lián)實現(xiàn)hot自動上下料。設(shè)備可實現(xiàn)RFID/Barcode掃描，FOUP ID讀取。
	Uptime	≥90% ( (計算公式：（日歷時間-設(shè)備故障時間）/日歷時間99%) Uptime is greater than 90% (calculation formula: (calendar time-equipment failure time) / calendar time 99%)
	信號燈	LED信號燈
軟件功能	操作系統(tǒng)	Windows10及以上系統(tǒng)，配送software及系統(tǒng)，系統(tǒng)故障能及時恢復(fù)無需在額外購買license
	I/O 信號	對于設(shè)備各個動作，信號能有I/O 信號查看功能
	設(shè)備運行log記錄功能	設(shè)備正常運轉(zhuǎn)run貨信息，溫度記錄log，設(shè)備event，alarm有查看記錄功能
	權(quán)限管理	設(shè)備分級別管理權(quán)限，如操作權(quán)限、管理權(quán)限，等各權(quán)限
	關(guān)鍵部件life time 管理	對于設(shè)備關(guān)鍵零部件有使用壽命管理，具有計數(shù)功能
廠務(wù)需求	電力系統(tǒng)	AC380V/三相五線，50HZ；
廠務(wù)需求	單位面積重量	<>噸/m²
安全要求	本質(zhì)安全性要求	設(shè)備的設(shè)計、制造、使用充分遵守SEMI S系列安全相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：
		1. 設(shè)備操作與維保說明書須滿足標(biāo)準(zhǔn)SEMI S13標(biāo)準(zhǔn)
		2. 設(shè)備安全標(biāo)簽須滿足標(biāo)準(zhǔn)SEMI S1標(biāo)準(zhǔn)
		3. 半導(dǎo)體制造設(shè)備的安全衛(wèi)生及環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)符合SEMI S2認(rèn)證
	操作安全	機(jī)器內(nèi)、外表面可接觸部分不能有毛刺、邊緣開刃等危害人員或工件安全隱患的存在。各高溫部件、運動部件等易造成人體傷害的部件采用必要的保護(hù)裝置和警示標(biāo)簽；如安全自鎖，門蓋感應(yīng)器、光幕等；高溫/加熱裝置配置兩重相互獨立的溫度報警功能（即主溫控器報警失效/故障后，第二重獨立溫度報警裝置仍能夠提供報警）。配電控制柜、控制面板等配電裝置需設(shè)定在烤箱的下部。
		高溫開爐門保護(hù)：當(dāng)溫度超過100℃（門檻可設(shè)置），電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門；
		報警保護(hù)：超溫、斷偶等聲光報警保護(hù)；
		超溫保護(hù)：獨立感溫式超溫保護(hù)器；
		電機(jī)保護(hù)：電機(jī)過電流、水冷保護(hù)；
		表面溫升：＜45℃；
ESD要求	摩擦電壓	設(shè)備硬接地，電阻小于4歐；摩擦電壓：與PCB、物料接觸或靠近部位（30cm內(nèi)）的磨擦電壓要求＜100V
ESD要求	接觸電阻	采用防靜電材料，表面電阻與體電阻值大于等于10的5次方，小于10的9次方。
設(shè)備運維要求	設(shè)備level-1（消耗品備件）	配送一套Level-1（消耗品備件）
	保養(yǎng)智能監(jiān)控	智能監(jiān)控保養(yǎng)周期或者輔料更換周期，可分權(quán)限、多條件設(shè)置到期提醒或者停止使用等級
	工作噪音峰值	工作噪音峰值不高于70分貝
	操作者權(quán)限	分操作員日常操作維護(hù)、生產(chǎn)運行兩個界面
	技術(shù)員權(quán)限	分工藝產(chǎn)品程序參數(shù)設(shè)置、設(shè)備通用參數(shù)設(shè)置、設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)三個頁面
	管理者權(quán)限	分設(shè)備通用高級參數(shù)設(shè)置及校準(zhǔn)、用戶賬戶管理兩個界面，管理者權(quán)限可以修改基礎(chǔ)操作及技術(shù)員權(quán)限功能
	保養(yǎng)及維修工具	1套/臺機(jī)
	安裝架設(shè)工具	1套/臺機(jī)（如果需要配送，含扳手、水平儀等）
	校正工/治具	1套/臺機(jī)（如果需要配送）
	隨機(jī)耗材、油脂等	提供2年內(nèi)保養(yǎng)所用耗材、油脂1套/臺機(jī)
	整機(jī)校準(zhǔn)功能	具備機(jī)器軟件、機(jī)臺自動或人工校準(zhǔn)向?qū)Чδ堋?/span>

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 流量計 RFID 控制柜保護(hù)器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
恒溫水浴鍋作用	￥12900	鄭州市	鄭州長城科工貿(mào)有限公司	2024-12-08	在線詢價
低溫超級恒溫水槽\|低溫恒溫水浴鍋	面議	常州市	常州金壇精達(dá)儀器制造有限公司	2017-02-07	在線詢價
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不銹鋼耐腐恒溫水浴鍋應(yīng)用	面議	常州市	常州易晨儀器制造有限公司	2023-07-12	在線詢價
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