| 規(guī)格型號/規(guī)格 | 數(shù)量 | 備注 |
Loadport | 對應8寸foup,帶Mapping功能,支持AGV/Hot; | 1 | 是否充氮氣為選件功能 |
EFEM | 1、外型:1390*2650*700(W*H*D)mm 2、配置Class 100 FFU, 3、配置 離子棒 | 1 |
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晶圓機械手 | 雙臂;真空吸附,帶Mapping 功能,對應晶圓翹曲度:≤2mm;晶圓材質:硅;晶圓厚度:600~750μm;晶圓重量:55g/片 | 1 |
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爐體 | 8寸晶圓100片,12寸晶元75片。 | 1 |
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石英爐管:Φ380*t5*L1230 | 1 |
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加熱組件:4溫區(qū),3點控制,功率:30kw;均勻性:±2℃@400℃;升溫速率:5-8℃/min,400-80℃; 使用溫度750℃ | 1 |
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配置Class 100 FFU, | 1 |
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膠質回收 | PCW換熱器 | 1 |
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氧含量 | 50PPM | 1 |
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降溫系統(tǒng) | 900m3/h鼓風機,通過28點向加熱組件與爐管之間通氣,降溫速率≤5℃/min,400-80℃ | 1 |
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控制系統(tǒng) | Windows10及以上系統(tǒng),配送software及系統(tǒng),系統(tǒng)故障能及時恢復
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對于設備各個動作,信號能有I/O 信號查看功能
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設備正常運轉run貨信息,溫度記錄log,設備event,alarm有查看記錄功能 |
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設備分級別管理權限,如操作權限、管理權限,等各權限 |
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支持EAP及AGV/Hot等對接功能 |
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