工作原理:
PED的檢測(cè)原理是在檢測(cè)器石英小池周圍加以高頻、高強(qiáng)度的電磁場(chǎng),在高頻、高強(qiáng)電磁場(chǎng)的作用下載氣和雜質(zhì)氣體被電離為具有較高的能量的等離子體(plasma)。當(dāng)樣品進(jìn)入檢測(cè)器的石英小池之后,被等離子體電離并發(fā)出不同波長(zhǎng)的光,根據(jù)波長(zhǎng)不同設(shè)計(jì)不同的濾光片。背景組分發(fā)出的光不能通過被檢測(cè)組分的濾光片,這樣就避免了主組分的干擾,光信號(hào)經(jīng)光電二極管轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。所以,PED檢測(cè)器是一種選擇性的檢測(cè)器。
典型應(yīng)用:
◆ 電子工業(yè)用氣體/高純氣體/特種氣體雜質(zhì)分析;
◆ 氣體充裝/標(biāo)準(zhǔn)氣配置分析;
◆ 石化化工/煤化工痕量碳?xì)浼半s質(zhì)檢測(cè);
◆ 制氫/氯堿/多晶硅等化工類行業(yè)氣體分析;
PED可檢測(cè)雜質(zhì)靈敏度(ppb)
規(guī)格參數(shù)