KOBELCO神戶制鋼所DLC涂層設(shè)備UBMS202
KOBELCO神戶制鋼所DLC涂層設(shè)備UBMS202
“UBMS(Unbalanced Magnetron Sputtering System)系列”主要作為“DLC(Diamond-Like Carbon)涂層”的涂層設(shè)備,深受零部件、工具和模具等各個行業(yè)客戶的喜愛。
“DLC涂層”的性質(zhì)很容易受涂層方法、處理溫度的影響,而我們憑借多年積累的經(jīng)驗和知識,成功解決了這個問題。
1.搭載自主研發(fā)的濺射蒸發(fā)源“UBMS系列”是一種搭載有神戶制鋼所自主研發(fā)蒸發(fā)源的濺射設(shè)備。通過優(yōu)化磁場配置,在涂層時強化等離子體,同時改善對于膜質(zhì)量控制非常重要的“離子輔助效果”。可以制造出具有良好表面粗糙度的膜。
2.也可利用PE-CVD方法進行DLC涂層還可實現(xiàn)這樣的處理:先通過濺射形成可提高附著力的涂層,然后以PE-CVD方法涂層DLC膜。
PE-CVD方法:將氣體作為涂層原料的涂層技術(shù)。主要使用甲烷或乙炔涂層DLC膜。與UBMS方法相比,PE-CVD方法能夠以5倍以上的速度涂層,并且可在維持潤滑特性的同時提高“生產(chǎn)效率”,而這正是UBMS方法的問題所在。
UBMS202,UBMS504,UBMS707,