石英晶體微平衡水分分析儀在超高純度（UHP）氣體pptv級水分監(jiān)測方面有著****的性能。操作簡單的19"機架安裝分析儀具有很多出色的性能特點，包括內(nèi)置的零點校驗系統(tǒng)，可以為你的半導體氣體體系提供能夠獲得的*好的保護。工作量程能夠達到1000ppbv。
| 5910UHP型水分分析儀 |
| 概述 概述摘要 5910型水分分析儀是目前監(jiān)測存在于高純大氣氣體中的痕量水分污染物的*設備。5910型水分儀的*性能是將**度，靈敏度，和響應速度****的結合到一起。 極低的噪聲和的靈敏度使得該水分分析儀的檢測限達到了150ppt。*小的樣氣接觸表面使5910對變化的水分甚至比光學儀器有更好的響應，因為光學儀器的響應速度受到大很多的樣氣接觸體積的固有限制。 5910型水分分析儀只能在19"機架/椅式安裝，帶配備本地顯示器和鍵盤。內(nèi)置的零點校驗系統(tǒng)是標準配置。 需求 現(xiàn)今，許多半導體制造設備都要求氣體中的水分濃度低于ppbv級。遺憾的是，單個數(shù)字的ppbv數(shù)值級別的水分濃度測量依然是當今已知的分析領域中*困難的挑戰(zhàn)之一。 當監(jiān)測單個數(shù)字的ppbv數(shù)值級別或者更低的水分濃度時，分析儀的響應速度的限制不是來自測量使用的技術。*重要的參數(shù)是流經(jīng)樣品池的樣氣接觸表面，還包括樣品池，這些表面和一個新的濕潤水平達到平衡比起傳感元件測量需要更長的時間。如果，在瞬時濕潤情況下，分析儀不能和這個新的數(shù)值達到物理平衡，傳感元件就感應不到實際的持續(xù)時間和數(shù)量。因此，一臺以光速運行的傳感器很容易感應不到微小的，瞬時的情況，一些需要大樣品體積的光學系統(tǒng)對這些情況存在的反應是模糊的。 解決方案 阿美特克過程儀器5910型UHP水分分析儀達到了****基線穩(wěn)定性和對水分濃度ppt級改變的靈敏度，同時能夠獲得*快的響應速度。穩(wěn)定性和靈敏度的改進是非常仔細周全的機械設計的直接產(chǎn)物，使得您能*好地保護您的半導體氣體體系。 5910型水分分析儀甚至對水分濃度*輕微的變化也很敏感。我們知道這是因為它的噪聲水平低于50pptv。這種非凡的設計就使得它的檢測限只有150pptv。 5910型水分分析儀被設計成有*小的逆流表面積以及對于任何可用的濕度分析技術來說的*小的樣氣體積。當這些與5910的溫控箱結合時，對增加和減少的水分濃度就能達到意想不到的響應速度：在任一方向一個25 ppbv的改變達到80%響應所需的時間少于8分鐘。對一臺分析儀的設計更嚴格的測試是對水分濃度更微小變化的響應速度。5910型水分分析儀的產(chǎn)品資料包含了一個性能曲線，證明了5910型水分儀的對3.4ppbv級挑戰(zhàn)的**的響應速度。 每一款5910型水分分析儀都能通過內(nèi)在的零點氣體系統(tǒng)快速而**的校驗其零點基線。這種零點校驗確保了分析儀有穩(wěn)定的零點基線。這是至關重要的，因為所有UHP氣體的目的是獲得盡可能低的水分含量。其他技術不具備這個能力，不能確定分析儀顯示的零點是它實際的零點或者其他更高或者更低的數(shù)值。 5910型水分分析儀實質上適合所有非腐蝕性氣體，包括惰性氣體（He, Ar, Ne, Xe, Kr）, O2, H2, 和N2 。轉換氣體只是軟件菜單中的一個簡單快捷的選項。 典型的應用包括質量保證的連續(xù)監(jiān)測和臨時的車載移動分析監(jiān)測。 |
