Dycor流導(dǎo)限制型離子源氣體分析儀是專門為半導(dǎo)體和薄膜制造過程監(jiān)測而設(shè)計的,體系壓力為毫托范圍。
Dycor DyMaxion 流導(dǎo)限制型氣體分析儀 |
概述 對離子發(fā)生器的設(shè)計,可以得到增強的靈敏度和下降的背景噪聲。當一個流導(dǎo)限制型離子源在樣本壓力達到10-3 torr時可以運行,不需要分析抽氣的進樣系統(tǒng)進一步減少壓力。越高的樣本壓力下有更多的中子,有更多的樣氣會離子化。壓力每增大一個數(shù)量級,信號強度和樣本濃度成比例地變化。這是通過限制樣本氣體在一個(相對)小的離子室內(nèi)而實現(xiàn)的。樣本氣體被限制在離子室內(nèi),該離子室的兩邊有兩個裂縫,轟擊電子通過這些裂縫進入,進而使樣品氣體離子化。在靠近離子室的小的出口形成的離子立即被吸至質(zhì)量過濾器,幾乎沒有機會和中子反應(yīng)。離子化效率很高,因為實際上所有的樣本氣體都經(jīng)過小的離子化地帶。從離子源到下游的質(zhì)量過濾器的主要的傳送機制是由離子發(fā)生器中的相對高壓與下游質(zhì)量過濾器中的相對低壓產(chǎn)生的一個壓力梯度。因此,離子源是由于壓力的不同而引起的流導(dǎo)限制。 |