多維磁場(chǎng)探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)無(wú)磁材質(zhì)半導(dǎo)體測(cè)試 北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場(chǎng)探針臺(tái),采用無(wú)磁材料制成,采用亥姆霍茲線圈正交放置,產(chǎn)生空間多維磁場(chǎng)。線圈可采用自然冷卻(磁場(chǎng)較?。?/span>或水冷結(jié)構(gòu)(磁場(chǎng)較大),標(biāo)配線圈過(guò)熱保護(hù)裝置。配合高精度雙極性直流電源可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。通過(guò)軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流,可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和360度轉(zhuǎn)動(dòng),便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào),用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等。 多維磁場(chǎng)探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)無(wú)磁材質(zhì)半導(dǎo)體測(cè)試
可選附件:
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 真空泵