概況：

錦正茂JZM-D30室溫探針臺的諸多設(shè)計都是專用的，探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進行選配及設(shè)計。例如，要求的磁場型號，電源型號，磁場值，樣品臺的尺寸等，除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用，可以提高磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進行設(shè)計優(yōu)化。

技術(shù)參數(shù)：

①磁場型號:EM3加長版

②電源型號:JP10-40，優(yōu)于50ppm

③磁場值:>1000Gs@60mm間距

④磁場分辨率:優(yōu)于0.1Gs

⑤三維探針座:高精度三維探針座4個

⑥載物臺直徑:30mm

⑦Y軸位移-15mm至200mm,精度優(yōu)于10微米

⑧X軸位移±15mm,精度優(yōu)于10微米

⑨Z軸行程10mm,精度優(yōu)于20微米

⑩R軸旋轉(zhuǎn):360度粗調(diào)，±5°范圍內(nèi)精調(diào)，精調(diào)精度10'

?顯微鏡:體視顯微鏡，變倍范圍優(yōu)于10-150倍。

?機械加工精度優(yōu)于10微米。

探針臺選型注意事項

※*大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，*小的單顆芯片尺寸？

※探針臺機械精度要求多高？

※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？

※*多需要幾個探針同時去點測？

※是否會用到探針卡測試？

※光學(xué)顯微鏡的*小分辨率需要用到多少？

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？

※探針點測時，對電流的要**否達到100fa或者以下？低電容要**否要做到0.1pf？是否有射頻需求？

※接駁的測試儀器接口有哪些？

※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？

※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？

※是否需要防震桌？

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？