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緊湊型高亮極紫外光源介紹及應(yīng)用
TEUS-LPP EUV光源基于快速旋轉(zhuǎn)液態(tài)金屬靶,這種新型LPP靶結(jié)合了傳統(tǒng)的碎片減緩技術(shù),是清潔極紫外光源的解決方案。
特征優(yōu)勢(shì)
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高速轉(zhuǎn)速:液滴的重定向
高轉(zhuǎn)速允許初始速度與目標(biāo)線速度相當(dāng)?shù)囊旱蔚慕撬俣确植及l(fā)生劇烈變化(受版保護(hù)的關(guān)鍵要素、一般原理和技術(shù))
高旋轉(zhuǎn)速度導(dǎo)致的液滴減緩效果的演示
EUV收集角(sr) | 激光平均功率(W) | 脈寬(ns) | 重頻(kHz) | 等離子體尺寸(μm) | 亮度(W/mm2sr) | EUV功率(mW) | 收集器壽命 | |
TEUS-S100 | 0.05 | 100 | 1.5 | 25 | 60 | 110 | 5 | >1年 |
TEUS-S200 | 200 | 50 | 220 | 10 | >半年 | |||
TEUS-S400 | 400 | 100 | 450 | 20 | >半年 |
典型應(yīng)用
掩膜及表面檢測(cè)
圖形化掩膜檢測(cè)
掩膜空間像檢測(cè)
材料科學(xué)
晶圓檢測(cè)
極紫外掃描光刻工藝鏈中的極紫外光學(xué)器件檢測(cè)