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  • 激光驅(qū)動(dòng)高亮EUV光源

TEUS-S100、TEUS-S200、TEUS-S400 激光驅(qū)動(dòng)高亮EUV光源

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  • 型號(hào)TEUS-S100、TEUS-S200
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-03-06
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量124
  • 人氣值1108
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在專業(yè)、敬業(yè)、拼搏的理念指導(dǎo)下,不斷進(jìn)取學(xué)習(xí),時(shí)刻關(guān)注域科學(xué)的發(fā)展和創(chuàng)新,北京眾星聯(lián)恒科技有限公司致力于引進(jìn)的X射線產(chǎn)品、及新孵化*產(chǎn)品給中國(guó)的同步輻射,研究所,高校及制造業(yè)的客戶。

       我司是德國(guó)INCOATEC公司、美國(guó)XOS(光學(xué)組件)、德國(guó)X-SPECTRUM、德國(guó)GREATEYES、德國(guó)Microworks、捷克ADVACAM、及英國(guó)MSI輝光放電質(zhì)譜儀的中國(guó)區(qū)總代理,產(chǎn)品線包含X射線源、X射線光學(xué)元件、X射線探測(cè)器、X射線系統(tǒng)、OPCPA飛秒激光器和輝光光放電質(zhì)譜儀等。我司同時(shí)致力于給客戶提供x射線解決方案,并于2016年推出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的桌面超快X射線診斷裝置,具有超微、超亮、高信噪比和高穩(wěn)定性的特點(diǎn),在物質(zhì)超快過(guò)程研究、精細(xì)分辨成像等方面具有重要的應(yīng)用價(jià)值。 

 

       我們堅(jiān)持以客戶需求為導(dǎo)向,以專業(yè)、專注為根本,以高效服務(wù)為核心,緊密跟進(jìn)學(xué)科的發(fā)展,努力從客戶處學(xué)習(xí)并豐富完善自己的技術(shù)儲(chǔ)備,解決客戶的實(shí)際需求,以前沿技術(shù)驅(qū)動(dòng)的創(chuàng)新獲取公司發(fā)展的空間,逐步成長(zhǎng)為優(yōu)秀的X射線領(lǐng)域及的材料分析系統(tǒng)方案提供商。

       我們敬畏知識(shí)不斷進(jìn)步所帶來(lái)的變化和革新,堅(jiān)信:高品質(zhì)的產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)的服務(wù)是獲得客戶認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)!

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激光驅(qū)動(dòng)高亮EUV光源
激光驅(qū)動(dòng)高亮EUV光源 產(chǎn)品詳情

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緊湊型高亮極紫外光源介紹及應(yīng)用


TEUS-LPP EUV光源基于快速旋轉(zhuǎn)液態(tài)金屬靶,這種新型LPP靶結(jié)合了傳統(tǒng)的碎片減緩技術(shù),是清潔極紫外光源的解決方案。


特征優(yōu)勢(shì)

  • 將液滴碎片重定向遠(yuǎn)離輸入(激光)和輸出(EUV)窗口

  • 用于高重復(fù)率激光系統(tǒng)(高達(dá)1Mhz)的不受干擾的靶材表面

  • 由于靶材是連續(xù)的,所需的同步最小

  • 高亮度,高通量,優(yōu)秀的空間穩(wěn)定性

  • 的正常運(yùn)行時(shí)間

  • 高占空比,交鑰匙作業(yè)

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

高速轉(zhuǎn)速:液滴的重定向

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

高轉(zhuǎn)速允許初始速度與目標(biāo)線速度相當(dāng)?shù)囊旱蔚慕撬俣确植及l(fā)生劇烈變化(受版保護(hù)的關(guān)鍵要素、一般原理和技術(shù))

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

高旋轉(zhuǎn)速度導(dǎo)致的液滴減緩效果的演示


EUV收集角(sr)激光平均功率(W)脈寬(ns)重頻(kHz)等離子體尺寸(μm)亮度(W/mm2sr)EUV功率(mW)收集器壽命
TEUS-S1000.05
1001.5
2560
1105>1年
TEUS-S2002005022010>半年
TEUS-S40040010045020>半年


典型應(yīng)用

  • 掩膜及表面檢測(cè)

  • 圖形化掩膜檢測(cè)

  • 掩膜空間像檢測(cè)

  • 材料科學(xué)

  • 晶圓檢測(cè)

  • 極紫外掃描光刻工藝鏈中的極紫外光學(xué)器件檢測(cè)


關(guān)鍵詞:收集器
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